【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

PRmm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…

当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

※動画で解説！　研磨装置　Super Finisher　平面研磨

各種基板の研磨に、また、打ち抜き部の微細バリ取りに。

Super Finisher　平面研磨は、スタンパー原盤の裏面ラップには微妙なラップの使い分けが素人にもでき、環境がクリーンです。 スタンパー裏面研磨装置は、スタンパーの裏面をラッピングフィルムによって研磨仕上げをします。 ワークのクランプ（固定）、アンクランプ（取り外し）は、作業者の方が行いロール研磨、パッド研磨、ブラシ洗浄、エアーブローは、自動で行います 。 各社各様の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

研磨装置　超平坦化装置　FCMP-IIシリーズ

ラッピングテープの特徴を最大限に生かし、目的とする研磨が容易

多層ビルドアップ基板の高性能化・微細化が進む中で、ますます厳しい平坦化加工が要求されています。FCMP-IIシリーズは、ラッピングテープの特徴を最大限に生かし、目的とする研磨が容易に得られ、装置の管理も簡単です。穴だれの少ない研磨が可能です。テープ番手の選択にて、粗さの管理が容易でウエット・ドライの両用で使用可能。一度セッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

『薄板平面研磨装置』

各種基板の研磨、又打ち抜き部の微細バリ取りに有効な研磨装置！

『薄板平面研磨装置』は、ラッピングフィルム（研磨テープ）によって 平面研磨を行います。 ワークの着脱は、作業者が行い、指定された範囲を自動で 研磨することができます。 各種基板の研磨、又打ち抜き部の微細バリ取りに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

『スタンパー裏面研磨装置』

好適な条件で加工可能！素人の方でも簡単に操作いただけます。

『スタンパー裏面研磨装置』は、スタンパーの裏面をラッピングフィルムに よって研磨仕上げすることができます。 ワークのクランプ（固定）、アンクランプ（取り外し）は、作業者の方が 行い、ロール研磨、パッド研磨、ブラシ洗浄、エアーブローは、自動で行...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

基板平面研磨装置『FCMP-IIシリーズ』

装置の管理も簡単！ウエット・ドライの両用で使用可能です！

『FCMP-IIシリーズ』は、ラッピングテープの特徴を最大限に生かし、 目的とする研磨が容易に得られ、装置の管理も簡単な基板平面研磨装置です。 ウエット・ドライの両用で使用可能。 一度セットアップすると誰でも簡単に使用出来ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

研磨装置　フラットパネルディスプレイ　ポイント研磨

突起の形状を認識し研磨中心位置を補正、確実に突起修正を行います。

トロール可能で、パネルにダメージを与えません 【仕様】 ○加工可能パネル寸法 →最大：450mm×450mm →最小：300mm×300mm ○パネル厚さ：1.1mm ○ラッピングテープ巾：1/4インチ（6.3ｍｍ） 　100m又は、200m巻き ○テープユニット上下移動量：50～0.001ｍｍ ○電源：200V　3相 ○エアー：0.4～0.5MPa ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン

【資料】フィルム研磨基礎知識 ～入門編～

手研磨の自動化・時間短縮・品質の安定化などが可能！フィルム研磨基礎知識…

「フィルム研磨」とは、ラッピングフィルムと呼ばれるフィルム状の シート表面に微細な砥粒を固着させたものを使用した研磨工法です。 当資料では、フィルム研磨基礎知識の入門編として、“フィルム研磨とは？” をはじめ、“フィ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン