【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

全自動レーザーリペア装置

ＦＰＤのセルパネル欠陥に対し、ＩＴＯパターンをカットして修正可能。

。 ２．ITO膜の欠陥箇所の確認や、画像ファイリングなどが可能です。 ３．明視野顕微鏡、対物レンズ、レーザースリットはパターンに合わせたθ（シータ）回転用スリット内蔵、ガントリー型XYリニアステージ（MAX：１３８０×２３００対応）、モニターシステム、大型ステージ、PCシステムなどです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所