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ミニマルファブで3D-LSIのものづくりを変革する接合装置
ピン接合が可能) ○赤外線光学系など高精度位置合わせ機能を搭載 →上下同時視野光学系:アライメント精度5μm →IR光学系:アライメント精度1μm以下 ○超音波による低温接合機能を搭載 →九州大学と共同開発 ○微小バンプ接合に不可欠な高精度平面調整を容易に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アドウェルズ
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