FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

分流式精密恒湿発生装置 SRH シリーズ (SHINYEI)

分流法を駆使し、超精密な温湿度環境を再現するSRHは湿度計測技術を支え…

1 装置内試験槽に0〜100%rhでの任意設定湿度を迅速に発生 2 湿度精度は ±1%rh　※at 25℃ (10〜90%) 3 乾燥空気発生は連続再生方式...分流法を駆使し、超精密な温湿度環境を再現するSRHは湿度計測技術を支える、高精度な恒湿空気発生装置です。湿度センサの研究開発用原器として、また、さまざまな先端分野における湿度制御の基準として、世界で数多くの使用実績を誇る最高峰の基準湿...

メーカー・取り扱い企業： 神栄テクノロジー株式会社