高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

冷却器『オイルコン AKJ 9シリーズ（浸漬形）』

切削・研削くずの付着・堆積を抑える冷却コイル構造！電子部品の硫化対応品…

『オイルコン AKJ 9シリーズ（浸漬形）』は、クーラントタンクに載せ 冷却コイルでタンク内の液体を直接冷やす冷却器です。 負荷全領域（無負荷から100%負荷まで）でクーラント温度を±0.1℃に制御し、 加工精度アップに貢献。冷却コイル深さを短くし、浅いタンクへの対応力を 強化しています。 この他に、精密な温度管理が必要な工場内でも、安定した効果を発揮する 「AKJ 9Wシリー...

メーカー・取り扱い企業： 富士商株式会社