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  • 【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC 製品画像

    【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

    PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

    attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

    • attocube_ids_550sq.png

    メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

  • 基板分割機【卓上型でコンパクト＆きれいな切断面】 製品画像

    基板分割機【卓上型でコンパクト＆きれいな切断面】

    PR基板の外形加工をルーターカット方式で行える卓上型の基板分割機です。集塵…

    基板の外形加工をルーターカット方式で行える卓上型の基板分割機です。 上方式、下方式と2タイプの集塵方式をご用意。 【主な特長】 ■集塵機の設置が不要でイニシャルコスト削減 ■卓上型で省スペースを実現 ■高性能ロボットのCP制御で曲線・直線のカットも可能 ■基板へのストレスが少なく、きれいな切断面を実現 ■＝＝下方集塵式の新機能＝＝ 　・ルータビット数倍長持ち 　・スピンドルモ...

    メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャノメ

  • 薄膜印刷装置 製品画像

    薄膜印刷装置

    フレキソ印刷方式で所望の任意パターンを1μｍ以下の厚みの薄膜を位置精度…

    １．有機薄膜の形成に適した装置 ２．ワークサイズ100mm□から1850mmｘ2250mm□までのシート状基板の印刷に対応 ３．500Åから1μm（厚みは塗布溶液の固形分濃度による）の薄膜を±５％の面内厚み精度分布で成膜 ４．塗布パターンは有機樹脂版で任意に制御。位置精度は0.3mm以下。 ５．印刷時間は30秒／シート以下の高速処理。 ...本装置はフレキソ印刷法により、シート状基板表面...

    メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社

  • 基板搬送装置 製品画像

    基板搬送装置

    精度要求、スペース、生産性を考慮し、最適な『搬送する』技術を提供します…

    １．コンベアで搬送する ・0.12mmの薄いフィルム、2,2000mm×2,500mmの大型ガラスの搬送を実現 ・CCDカメラを搭載した高精度アライメント機能、任意角度への回転機構に対応 ２．ステージで搬送する ・平面度20μmのフラットステージ、静電気対策に有効なピンステージをラインナップ ・ピッチング精度±0.05°、ヨーイング精度±0.02°の高精度搬送に対応 ３．SCARAで搬...

    メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社

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