FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ミニブラスティング工法

早く安く！小規模で限定的な発破が安全に行える工法のご紹介

た。 解体現場の様々なシーンにおいて、効率の良い、経済的な破壊が可能になります。 【特長】 ■特殊な防護シートを用いて飛散物を確実に防止 ■小薬量の火薬類を使用するので、発破騒音や振動を低減 ■限定的な発破が可能なため「ここだけ壊したい」というケースに有効 ■予定破壊域以外の箇所に損傷を与えない ■小口径の発破孔なので、穿孔作業を短時間で行える ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カコー

橋梁発破解体

発破による安全でスピーディな橋梁解体。工期短縮、コスト削減、安全性向上…

な足場の設置が不要となり、工期短縮、コスト削減が見込める ■転落、墜落の危険を伴う高所作業を大幅に削減 ■老朽化、崩落のおそれのある橋へのアプローチを削減 ■解体作業中、橋に作用する負荷応力を低減 ■安全性が大きく向上 ■様々な構造の橋に対応が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カコー