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希釈精度”±0.2%”でクーラント液を送液!クーラント希釈装置
PR設定した濃度でクーラント液を自動送液!ムラを低減し加工品質の安定に貢献…
『MX-600C』は、設定した濃度でクーラント液を自動送液できる クーラント自動希釈装置です。 工作機械の加工で欠かせないクーラント液は、 人の手による混合も多く、そのムラが加工不良につながる可能性もございます。 当社の装置では、供給される工水の量に応じて 設定された濃度になるよう油を攪拌させながら自動供給を行います。 精度の高い流量計を用いて管理するので希釈制度は設定値±0.2%で供給が可...
メーカー・取り扱い企業: リックステクノ株式会社
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PR循環ポンプ1台で冷却加熱ブラインを供給!ブライン供給配管の切替作業不要…
ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ1台で-100℃~+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式:混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式:電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 ◎循環量:10~20L/min ◎揚程:10~15m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マック
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クリーンなオペレーションを保持
バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまな用途に対応することがで...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体…
超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、 バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の すべてにおい...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バル…
DRP(TM)シリーズは、CMPスラリー、酸、化学薬品、超高純度脱イオン水の供給システムをはじめとする多くの過酷なウェットケミカル・プロセス用途にて高い清浄性と耐久性を提供するフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブです。同シリーズは、1/4回転手動式と空気作動式の2種類のモデル...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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低トルクかつ1/4 回転で開閉でき、コンパクトなデザインながら 41…
他に、標準のSwagelok製またはISO 5211準拠のラック・アンド・ピニオン式空気式アクチュエーターでも使用可能。 ■サイズは、1/4インチ(6mm)と3/8インチ(8mm)。 ■その他の供給可能なオプションには、低温用途、サワー・ガス(硫化水素)用途などがあり。 ■最高使用圧力は41.3MPa、使用温度範囲は−40℃〜150℃。 ■ 低排出認定 (API 624)の取得が可能...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー
半導体デバイスの微細化に欠かせないALDプロセス。ガス供給を制御する高い性能が求められるバルブ。 スウェージロック・ジャパン『ALD20』は大流量・高温用途に対応したALD用バルブの新製品です。高速開閉・長寿命・高い再現性といった特長を有し、アクチュ...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁 CHPシリーズ
Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレー…
ガス部の材質に、次世代PTFEおよびPFAを採用 ■ SEMI F57-0301 に適合 ■ エンド・コネクションに、スーパー300タイプピラーフィッティング(R)※またはフレアー継手が供給可能 ※ スーパー300タイプピラーフィッティング(R)は日本ピラー工業株式会社の登録商標です。...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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