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PR循環ポンプ1台で冷却加熱ブラインを供給!ブライン供給配管の切替作業不要…
ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ1台で-100℃~+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式:混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式:電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 ◎循環量:10~20L/min ◎揚程:10~15m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マック
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PR電力供給不要なため水に浸かっても安心!削岩機のモーターにも有効!数日~…
双葉製作所のピストン式エアモーターは、電力供給不要なため水に濡れる場所でもOK。 トンネル工事・土木工事等で使用される「削岩機」では、作業中に生じる岩粉の処理の際、水で流す湿式タイプがよく使われます。大量の水でモーターが濡れる恐れがありますが、当社のエアモーターであれば濡れても安心。 星形に配列された4又は5シリンダのうち2個は常に動力行程にあり、クランクにデットポイントがない為、回転...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社双葉製作所
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『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中
半導体材料メーカー様 必見!固体材料供給における高温化の課題への提案の…
250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでし...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現!ストレートタイプのベ…
『IB』シリーズは、ダイヤフラムバルブと比べ、高いCv値を 持つことにより設備の供給ラインなどの多くの流量を必要とした ユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。 ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能。 高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバル...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバル…
『SBB』シリーズは、コンパクトな設計でありながら高いCv値と耐久性能を 持った供給ラインで使用することを前提とした、パイプサイズのベローズ バルブです。 エア供給口を頭部に設定することで、配管向きを気にすることがなく 設計でき、パージポートをオプション仕様として、1次側...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』
高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能…
『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な ダイヤフラムバルブです。 流量の再現性を求められる原子層堆積(ALD)プロセスのプリカーサー (前駆体)供給に好適。 樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下での シートリークやライフサイクルなどの耐久性能が向上しました。 【特長】 ■高温環境に対応 ■製品誤差がなく交換...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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大径サイズストレートタイプ!当社独自のY型構造により、より高いCv値を…
『IBC/IBD/IBE』シリーズは、「SBB」シリーズ同様、コンパクトな 設計でありながら高いCv値と耐久性能を持った供給ラインで使用 することを前提とした、大径のパイプサイズベローズバルブです。 「IBC/IBD」タイプの内面は、全面円筒機械加工することにより、 均一に仕上がっており、「IBE」タイプはベア...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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1台で流量調整と全開/全閉の2段階のコントロールを可能とした画期的な複…
アーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを 可能とした画期的な複合バルブです。 ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、 パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現。 従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、 大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。 【特長】 ■1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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大流量タイプに好適!回転フランジ採用により、狭い箇所での施工が容易
す。回転フランジ採用により、狭い箇所での施工が容易です。 【特長】 ■高純度ガス系での樹脂パッキンシールを排除 ■大流量タイプに好適 ■サイズが10A~80Aと液晶・太陽電池向け大量ガス供給に対応 ■配管施工性が向上 ■使用温度が-200~450℃と広範囲に対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』
高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム…
ルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積(ALD)プロセスのプリカーサ (前駆体)供給に適しています。 【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシートの採用 ■多種多用なガスに使用可能 ■高耐久 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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大流量供給システムに最適!安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高…
高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。 フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適です。 【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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各接続端は自動溶接に適したネック付!高純度ガス供給用の溶接継手
動溶接に適したネック(直管部)付で突合せ溶接用の開先のため、 高品質の溶接が簡単に行えます。 カタログ外のサイズやフランジ等は各営業担当にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高純度ガス供給用 ■電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下を実現 ■形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能 ■自動溶接に適したネック(直管部)付 ■突合せ溶接用の開先のため、高品質の溶接が...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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安全・高耐久・パーティクルフリーを実現!アクチュエータをスリム化した高…
『NRMD8Cシリーズ』は、Cv0.75 ミディアムフロータイプの自動バルブです。 #空圧 BSGS(特殊材料ガス大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けに アクチュエータをスリム化。 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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