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公自転式撹拌脱泡装置『カクハンター SK-1100TV III』
PR中型量産モデルがパワーアップして新登場。真空減圧機能を搭載し、微細な気…
『カクハンター SK-1100TV III』は、材料の撹拌・脱泡を同時に行える装置です。 真空減圧機能を搭載しており、真空引きをしながら遠心脱泡が行えるため 除去が困難なサブミクロンレベルの泡まで脱泡処理することが可能。 高粘度材料にも対応できるほか、公転・自転の比率を 可変することができ、材料や条件に合わせた処理が行えます。 【特長】 ■回転数大幅UPによる強力撹拌 当社従来機との比較で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社写真化学 草津事業所
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Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチ…
グプロセスの為、Au, Pt, 磁性材料、金属多層膜なども簡単に加工可能です。 【特徴】 (1)難エッチング材料を微細加工可能 (2)金属多層膜をワンステッププロセスで加工可能 (3)自公転ステージにより、複数ウエハを均一に同時処理可能 (4)基板冷却ステージ(水冷 or 水冷/ガス冷)により基板温度上昇を抑制し、レジスト焼け防止 (5)ステージ角度可変のため、テーパー加工が容易(...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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