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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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300mmウエハーでワンショット1秒で検査
ウエハーでも全視野ワンショット1秒以下で検査可能で、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に、赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、BG 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。詳...
メーカー・取り扱い企業: アローズエンジニアリング株式会社
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ウエハ表面に可視でAFフォーカス!赤外顕微鏡でパターン寸法を画像…
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の 『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。 当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして 赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。 2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。 【特長】 ■対象ウエハ 8” ■2カセット ■位置決め精...
メーカー・取り扱い企業: アローズエンジニアリング株式会社
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