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多層膜など多くのパラメーターが一度に解析!小型・高速分光エリプソメータ
分光エリプソメータMASS-105は白色光を用いたエリプソメータです。レザータイプに比べ、多層膜などの多くのパラメーター(膜厚、屈折率、吸収係数)が一度に解析できます。分光器には、2048分割のCCDタイプを用いるなど、性能・機能はパワフルなものとなっています。また、分光解析ソフト“SCOUT”を標準装備し、ファイブラボ株式会社の解析ソフトを補い、より解析力がアップし、研究用としても対応しています。 ...
メーカー・取り扱い企業: ファイブラボ株式会社
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各波長の位相差・楕円率・方位角が確認しやすいデータビューワを標準装備!
分光位相差測定装置 PDMS-SPは、ファイブラボのエリプソメータ技術を基に開発された分光位相差測定装置です。サンプルを透過・反射する際に生じる位相差、楕円率、方位角などを測定します。測定方式に回転位相子法を採用している為、波長板の出し入れ無しでΔ値が全領域にわたって高精度に測定ができ、入射アームとは独立させて、ディテクター部のみを動かせるので、光軸が平行移動するようなサンプルも測定可能です。各波...
メーカー・取り扱い企業: ファイブラボ株式会社
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サンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能!
分光エリプソメータMASS-103は、古くから多くの実績を誇る MASS-102シリーズの改良シリーズです。分光器を1024分割の2 次元CCDを用いることにより、波長分解能はそのままに測定時間が飛躍的に短くなりました。103シリーズはサンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能となっています。(従来のゴニオ型“104シリーズ”もあります。)また、分光解析ソフト“SCOUT”をオプションで用意し...
メーカー・取り扱い企業: ファイブラボ株式会社
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