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PRマルチな高精度部品搭載に対応!高度な荷重制御が要求されるアプリケーショ…
『FALCONシリーズ』は、マニュアルからオート仕様までユーザーのニーズの沿った 装置をラインナップしたダイ・フリップチップダイボンダーです。 オプションを組み合わせによる御社要求仕様でのダイ・フリップチップボンダーの製作を実現。 加熱機構、高荷重接合、ウェハからのピックアップ、チップ反転機能等、お客様の仕様に適した装置を提案可能。 また、搬送機などを取り付けたフルオート仕様に対応可能な上位モデ...
メーカー・取り扱い企業: テクノアルファ株式会社
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協働ロボット パレタイザー 向け (LC3IC Elevate)
PRLC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバー内蔵。協働ロボット…
LC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバーが内蔵されているため、電動昇降装置のオンボード制御や診断が簡単です。LC3 IC は、産業用通信インタフェースにより、協働ロボットパレタイザーや高さ調整可能なコンベアベルトなどの用途など、産業人間工学に好適な電動昇降装置となっています。 LC3 IC は ELEVATEと呼ばれるモデルで、特に特定のインターフェース、ソフトウェアドライバー、...
メーカー・取り扱い企業: リナック株式会社 日本支社
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Ni/Cr/Wなどに対応! ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現
ネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。 フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、かつ格段に高い精度でコントロールすることができます。自動シャッター機構を標準装備しています。 【特長】 ■フルオート/マニュアルの2通りの操作 ■高精度を誇る...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」
ターゲットは3種類同時に装着可能!多層膜を作製することが可能です。
【基本仕様(抜粋)】 ○放電形態:直流マグネトロン ○放電制御:定電流 30mA ○圧力制御:ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間:最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス:Ar(導入圧力 0.1MPa以下) ○プロセスガス導入口:φ6mm...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…
QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。 ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。 【特徴】 〇プログラマブルスパッタコーター 〇フルオート/マニュアルの2タイプの操作 〇シャッター標準装備...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター
QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。 【特徴】 ○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。 ○コーティング/エッチングモード搭載 〇デバイスの電極膜付けにも使用可能 ...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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走査電子顕微鏡用試料作製に最適! 試料作製の煩わしさを解消します。
「SC-701AT」は、全自動コーターです。 排気操作完全自動式で、膜厚制御連動式です。 走査電子顕微鏡用試料作製に最適で、デバイスの電極膜付けにも使用できます。 【特長】 ○電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製 ○プリセット方式により、膜厚のコントロール(簡易型)が可能...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…
3源/水冷式 スパッタアップ スパッタ電源:RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付) 到達真空度:10^-4 Pa台 寸法: SVC-700RFIII(制御ユニット):W370×D310×H195mm RF CONTROL UNIT:W370×D310×H158mm チャンバーユニット:W370×D540×H400mm 所要電源:AC100V...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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小型成膜装置!ターゲットは3種類同時に装着可能です。
【仕様】 ○放電形態:直流マグネトロン ○放電制御:定電流 30mA ○圧力制御:ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間:最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス:Ar(導入圧力 0.1MPa以下) ○プロセスガス導入口:Φ6mm...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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