【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

ダイボンダー/フリップチップボンダー FALCONシリーズ

PRマルチな高精度部品搭載に対応！高度な荷重制御が要求されるアプリケーショ…

『FALCONシリーズ』は、マニュアルからオート仕様までユーザーのニーズの沿った 装置をラインナップしたダイ・フリップチップダイボンダーです。 オプションを組み合わせによる御社要求仕様でのダイ・フリップチップボンダーの製作を実現。 加熱機構、高荷重接合、ウェハからのピックアップ、チップ反転機能等、お客様の仕様に適した装置を提案可能。 また、搬送機などを取り付けたフルオート仕様に対応可能な上位モデ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

VOC排気処理　直接燃焼式脱臭装置(DTO)

当社の濃縮＋ＤＴＯは、不純物を含むガスにも強く、独自の制御でＤＴＯ方式…

『直接燃焼式脱臭装置(DTO)』は、一般的な直接燃焼式脱臭装置よりも 短時間で、完全に臭気成分を酸化分解し無臭化することができます。...【直接燃焼式脱臭装置(DTO)　特長】 ■臭気ガスと燃焼火炎の混合がスムーズに行われる ■臭気ガスの昇温も速く、臭気成分の酸化分解が素早く行われる ■短時間で、完全に臭気成分を酸化分解し無臭化することができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社島川製作所

VOC排気　直接燃焼式脱臭装置(DTO)

当社の濃縮＋ＤＴＯは、不純物を含むガスにも強く、独自の制御でＤＴＯ方式…

『直接燃焼式脱臭装置(DTO)』は、一般的な直接燃焼式脱臭装置よりも 短時間で、完全に臭気成分を酸化分解し無臭化することができます。...【直接燃焼式脱臭装置(DTO)　特長】 ■臭気ガスと燃焼火炎の混合がスムーズに行われる ■臭気ガスの昇温も速く、臭気成分の酸化分解が素早く行われる ■短時間で、完全に臭気成分を酸化分解し無臭化することができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社島川製作所

VOC排気　【NOx抑制型】アンモニア排気脱臭装置

NOx変換率は5%以下！低負荷時のエネルギーコストを大幅に低減します …

反応を抑制。アンモニア処理効率は95%以上となっています。 また、圧力、温度を常時監視し、異常発生時は装置を自動的に冷却後、 安全に停止します。 【特長】 ■NOx抑制型 ■独自の制御フローによりNOxの発生を抑制 ■高効率の熱交換器により低負荷時のエネルギーコストを大幅に低減 ■圧力、温度を常時監視 ■異常発生時は装置を自動的に冷却後、安全に停止 ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社島川製作所