高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラステコ 本社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オートフォーカス顕微鏡　LSAF2

ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置

ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置です。 電動XYステージでワークを移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。 検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

オートフォーカスユニット　

顕微鏡や画像検査用のオートフォーカス装置

ーカス装置です。光学系の倍率が高くなるほど映像の焦点が甘くなります。また、試料変形や移動精度でも合焦精度が低下して画像検査の精度を低下させます。オートフォーカス装置はこれらの問題を解決します。ソフト制御なので操作が簡単で±1μm以下の合焦精度で変化に追従します。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

チップ素子欠陥検査機

高精度なXYZオートステージです。

ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。 顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

オートフォーカス顕微鏡　LSAF1

単対物用のオートフォーカス顕微鏡です。 フォーカスステージつきで…

特徴 1. 各種光学系に組込できるV型です。 2. ソフトで1μ以下の合焦精度でピントを自動制御します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

ウエハエッジ検査機

計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！

ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。 検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。 新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。 検査時間は1枚に10秒と高速です。 外部通信機能でこのまま自動機に組込ができます。 詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

MEMSウエハチップ検査機

高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡

MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

モジュール製品の顕微鏡検査に　測長顕微鏡

最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボル…

ができます。 ○XYスケール値と画像測定を合わせて測定して計算値および画像をExcell型式で管理できます。 ○XY軸はリニアステージで1400mm×900mm/1μm駆動、Z軸は200mm電動制御できます。 ●「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック