【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

新規次世代パワー半導体の研究開発拠点を開所

PR低損失化、高耐圧化、小型化の面で優位性を持つ、GeO2半導体の製膜事業…

株式会社クオルテック(本社：大阪府堺市、以下「クオルテック」)は、 「滋賀県立テクノファクトリー」内に、新規半導体材料を使用した パワー半導体の製膜における研究開発拠点を開所しました。 開所式にはクオルテックが本研究開発に関して資本業務提携し、 「琵琶湖半導体構想(案)」を推進する立命館大学発ベンチャー、 Patentix株式会社(本社：滋賀県草津市)も出席し、開所式を行いました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

クリーンヒーター 「IRP型」

半導体、液晶関連産業の加熱装置に使われる発塵の無いクリーンなヒーター

クリーンヒーター 「IRP型」は、遠赤外線放射セラミックヒーターを組み合わせてユニット化した、サイズ・容量を選べるステンレスケース製パネル型ヒーターです。 発塵の要素が無く、熱衝撃に強く耐冷熱サイクルに優れています。 【仕様】 ○パネル１枚にセラミックヒーターエレメント電源電圧200V電力400W 　（100mm×200mm）を組み合わせて使用できる ○磁器（セラミック）に釉薬（遠赤...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社

自己制御型コードヒーター 「TLT型／HTLT型」

配管・バルブ・ポンプなどに巻き付け、加熱や保温をするヒーター

自己制御型コードヒーター 「TLT型／HTLT型」は、自己温度制御機能をもつ半導体性発熱体を、連続して並列回路構成したヒーターケーブルです。 発熱体は、自己の温度変化に感応して発熱量が自動的に増減します。 どこで切ってもW/m は同じです。 【特徴】 ○出力が自動的...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社

液体加熱用ヒーターを使うヒント

水や油などの液体内に直接ヒーターを差し込んで加熱します。

【使用例】 ○油加熱 →軽油、重油予熱、実験用ブレーキオイル、潤滑油の加熱、熱媒油 ○工業用加熱 →ボイラー、沸騰消毒、ワニス含浸、半導体洗浄 ○薬液加熱 →酸、アルカリ、塩液、メッキ液の加熱、オートクレーブ、重合（高分子化学） ○食品加熱 →飲料自販機、食品製造設備（揚げ物鍋油、蒸気発生、凝縮） ○水加熱 →純水加熱...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社

空気加熱用ヒーターを使うヒント

空気（気体）を直接加熱するヒーター。遠赤外線など放射による加熱も含みま…

【使用例】 ○工業用加熱 →半導体洗浄や乾燥および水分除去 ○塗装・乾燥 →輻射（放射）による焼き付けや食品の乾燥 ○湿度調整、湿気除去 →乾燥炉、制御盤内取付スペースヒーター ○暖房 →事務所、工場、住宅、球場など ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社