【部品表管理導入事例】京セラ株式会社　様

PR工場内に散在していた製造関連情報を一元化！グローバルでのコンカレントエ…

卓越した技術力を有し、日本を代表する総合メーカーとして知られる京セラ様。 グループ従業員数は8万人を超え、連結売上高は2兆円以上。その事業領域は幅広く、ファインセラミックスをはじめ、半導体部品や電子部品、ケミカル材料、車載カメラやエネルギーシステムなどをグローバルに展開されています。 そんな京セラ様の技術力を支える拠点の1つが鹿児島川内工場です。 同拠点で進められているコンカレントエ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立ソリューションズ西日本

石英ガラス製品、石英ガラス加工品「半導体製造プロセスで活躍」

弊社グループ会社にて石英ガラス製品を製造、国内・海外の半導体デバイスメ…

石英ガラス製品は、半導体製造プロセスで幅広く使われている石英ガラスで作られている製品です。 【特徴】 ■お客様のニーズに答えます 　・弊社グループ会社で生産することにより、お客様のニーズに則したサービスの提供が可能です。 ■高精度な製品 　・独自ノウハウによる自社設計の治工具を用いて高精度な製品を製作しています。 ■精度保証 　・高精度の製品は三次元測定機で測定を行い、精度保証を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

半導体製造装置制御装置 仮想化システム「レガシー製品延命に寄与」

サポート終了の半導体製造装置の長期使用・保守改善・メンテナンスの救世主…

レガシーデバイス、旧 DEC社製PDP,VAX, Alpha,DMCCのミニコン／ワークステーションを搭載している半導体製造装置の制御装置を仮想化するシステムです。 既存のアプリケーション・OSを現代の安価で高性能な標準PC上で長期にわたり安定運用出来るように、そのまま置き換える事が可能です。 【特徴】 　・安定稼働中の既存ソフトウェアを継続利用 　・新規アプリケーション開発の必要無...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ 　・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致 　・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 　・縦型...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理

交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…

半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理を対応致します。 ■現場(現地)での点検サービスも行っており、ご要望に応じて現場(現地)でのトレーニングも行っております。 ■新品の規格よりも、より厳しい規格でOH修理・検査対応致します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 　・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール 　・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 　・機能水を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」

露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装…

レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。 【特徴】 ■高帯電防止性能 　高帯電防止性能により、静電気等も安心 ■低アウトガス・低汚染 　クリーンな環境にて使用可能 ※主要露光装置メーカーの露光装置用として、デバイスメーカーでの実績多数あり ※詳しくはお問い合わせ下さい。...レチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・異形状・サイズ基板の同時処理 　・高い成膜速度 　・シンプルメンテナンス 　・省フットプリント 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

二珪化モリブデン(MoSi2)ヒーター　最高1800℃使用可能！

二珪化モリブデンヒーター: 繰り返し使用が可能で高寿命、お客様に合わせ…

が可能です。 　・取付取り外しが容易です。 　・温度制御がし易く、反応が早い為、炉内の特定の箇所を均等に加熱することが出来ます。 　・お客様の炉の仕様に合わせた設計が可能です。 ※半導体メーカー、光学メーカーに実績あり ※詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取…

SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。 【特徴】 ■剛性、耐久性が強化 　・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。 ■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計 　・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行