高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

【導入事例】オゾンガス発生器

ウイルス・カビのオゾンガス除菌・脱臭。コンパクトで持ち運びが便利。高濃…

オゾンは消臭力、殺菌力が強いので特定の部屋を高濃度で消臭・殺菌に使われています。 オゾンには細菌・ウイルスを駆除する効果があり、薬品と違い保管・管理がいらず安心です。 カビにも効果的で、その増殖を防ぐことがでます。 またオゾン殺菌は、オゾンが細胞膜を破壊し、核にも到達するので、細菌やウイルスは完全に死滅します。 その結果、耐性菌を作りません。 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス