高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

【納入事例】生産能力の高さと高品質製品の提供が同時に実現

高純度薬品の生産装置製造の実績！生産能力が高い装置仕様を、という課題を…

海外の化学薬品製造メーカー様に新工場建設に伴う半導体向け高純度薬品の 洗浄・充填ラインを納入した事例をご紹介いたします。 特に設計開発の部分は長いスパンで行われており、例えば充填機は新たに 3本立ての充填キャッパー一体型を開発し、従来品より生産能力の高い装置を 開発しました。また洗浄ラインにおいては、キャップと中栓キャップ用の 洗浄機も新たに開発し、洗浄度の高い容器を提供できるような...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社永田製作所