最小0.1mm！北京ワールドダイヤ　微細加工PCDマイクロドリル

PR直径０.1mm～２mmで半導体検査治具、拡散板、シャワーヘッドなどの微…

北京ワールドダイヤは中国ではトップクラスの生産規模と技術力を持つダイヤモンド工具専業もメーカーです。同社の特徴は開発力、技術力で80を超える製品特許を保有しています。 日本へも2014年の市場参入以降、価格メリットと品質を武器に自動車・輸送機関連分野での採用が広がっています。 同社の新製品「PCDマイクロソリッドドリル」は独自の刃先形状と滑らかな溝形状によりバリの発生を抑制し、長寿命で高品質な加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社京二 本社、名阪営業所、南関東営業所、千葉営業所、北関東営業所、東北営業所、京二上海

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。 生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...横型石英管...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－Ｏ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

『半導体・液晶産業用ふっ素樹脂製品　カタログ』

半導体・液晶産業のニーズに応える！ふっ素樹脂製品を多数掲載！

『半導体・液晶産業用ふっ素樹脂製品　カタログ』は、 高機能樹脂の総合加工メーカーである中興化成工業のカタログです。 高純度PFA樹脂を使用した内面平滑性に優れ、溶出イオンを抑えた「PFAチューブ」をはじめ、 「シリコーンファブリック」「カートリッジヒーター」など幅広く掲載されています。 【掲載内容】 ■PTFEチューブ ■スネークルホースシリーズ ■PTFE槽 ■スカイブド...

メーカー・取り扱い企業： 中興化成工業株式会社 本社

半導体用発熱体

半導体用発熱体

半導体製造に使われる拡散炉用ヒーター、CVD炉用ヒーターを提供 　...横型、縦型の既存半導体製造装置に使われているほとんどすべての 炉に対して提供が可能です。 またヒーター設計に関して数々の特許を有しており、長寿命化、均熱化 への提案もさせて頂きます。 □■ラインナップ■□ ■ヘビーゲージヒーター（太線） 主に、横型・縦型の拡散プロセスにて用いられるヒーターです。 独自技...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

新熱工業のシーズヒーターを活かした『半導体・液晶装置用ヒーター』

熱解析による専用設計により、温度分布を均一にするためのヒーター配置をご…

新熱工業では、一貫したシーズヒーター製造販売の技術を活かし、『半導体、液晶装置用ヒーター』を取扱っています。 ヒーターの専門メーカーだからこそ実現できる多種多様なヒーターを組込んだ製品をご提案いたします。 プレート材質、加工方法、使用温度、容量などから最適なヒーター仕様を選定いたします。 各種ヒーターは電気的に絶縁されており、直接加熱が可能。 振動、衝撃に優れ、発熱線が酸化されにく...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

産業用ヒーター総合カタログ【産業機械・半導体関連・食品加工業に】

産業用ヒーター総合カタログ無料進呈中！シーズヒーター、ホットプレート。…

工業用ヒーター・産業用ヒーターの専門メーカーの「産業用ヒーター総合カタログ」を無料進呈中です。産業機械・半導体関連・食品加工業に最適なヒーターを多数ラインナップしております。小型のものから超大型まで、安全性・耐久性に優れた装置をローコストでご提案いたします。 【総合カタログ掲載内容例】 ■シーズヒーター ■フィンシーズヒーター ■シリコンテープヒーター/シリコンコードヒーター ■カ...

メーカー・取り扱い企業： 東立電機株式会社

管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」

半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対…

管状炉とは、カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたもので、チューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。 【特徴】 ■精密な温度制御や温度勾配が可能 　・炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、 　　精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。 ■御要望の電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

新しい形状の半導体熱処理炉用ヒーター

ウェハの表面温度均一性に優れ昇降温特性にも優れたヒーター

XYZは新しい形状の半導体熱処理炉用ヒーターです。ウェハの表面温度均一性と昇降温特性に優れています。 【特長】 ■制御熱電対 ヒータ側壁挿入方式 (制御用4箇所、過温保護用4箇所、アジャスト機構あり) ■断熱材材質 外周：ファインフレックスペーパー 内周：高純度ファイバーモールド ※総合カタログ進呈。詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。......

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三幸

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます ・半導体装置用のクリーンルー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」

圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルタ…

クアーズテック社のインライン・ガスフィルター『CEPURE』に採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有しています。 幾何学的に圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面においても非常に優れており、理想的なフィルターメディアです。 【特徴】 　・優れ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

アプリケーション『半導体製造装置』

様々な加熱に対応し、ピーク波長が1μm！半導体プロセス加熱などにご活用…

株式会社ハイラックス電機は、工業用・産業用ハロゲンランプヒーター・ カーボンランプヒーターのカスタム製造・販売を行っております。 『ハロゲンランプヒーター』は、電力に対する熱損失が少なく、とても 効率の高いヒーター（熱源）です。また立ち上がり・立ち下がりの 応答性能も非常に高く瞬時加熱を得意としております。 直線タイプや丸型、異形状など様々な形状へのアレンジもできますので、 ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイラックス電機

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

熱源 「加熱用ハロゲンランプ」

赤外線ハロゲンランプは近赤外線域にピーク波長を持つ、極めて高効率な熱源…

赤外線ハロゲンランプは近赤外線域にピーク波長を持つ、極めて高効率な熱源です。 半導体製造の他、各種成膜工程の熱源として使用されます。 半導体製造工程での使用に適した制御性の良いクリーンな熱源です。 【特徴】 ○高効率・省エネ ○素早いレスポンス 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【特徴】 ○安定したエネルギー放射 ○クリーンな熱源 ○多...

メーカー・取り扱い企業： 岩崎電気株式会社 光・環境事業部

フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置！大面積で一括照射、…

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

電熱ヒーター　FPD（フラットパネルディスプレイ）関連

FPD（フラットパネルディスプレイ）・半導体製造装置を設計いたします。

FPD（フラットパネルディスプレイ）、太陽電池・ソーラーパネル等の半導体製造装置用ヒーターに関してご紹介いたします。 FPD業界で使用されるヒーターは乾燥、封着、熱媒として様々な用途で使用されています。 新日電熱工業株式会社では、マイカヒーターを利用したタイプ、シーズヒーターを利用したタイプ、AL鋳造構造等、用途に合わせて熱分布等に優れたヒーターを設計・製造します。 【仕様】 ○被加熱...

メーカー・取り扱い企業： 新日電熱工業株式会社

SEMICON Japan 2023出展 『クリーンルーム用等』

複雑形状も製作OK！耐熱仕様のジャケットヒーター、ダストを抑える保温カ…

産業用ヒーターの開発設計などを手がける当社では、 高温環境やクリーンルームに対応したマントルヒーターをラインアップ！ 平面や円筒だけでなく複雑な形状でも、サイズを問わず製作可能です。 ◎ダストの発生を抑制！『クリーンルーム用ジャケットヒーター新規規格品展示予定』 ■ダストを抑えた構造で、クリーンルーム内での使用に最適 ■薬品・医療・食品・半導体業界や各研究所で実績多数 ■平面・円筒...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京技術研究所 本社営業部

広田製作所　事業紹介

石英ヒーター、電気炉・制御装置、半導体用ヒーターはお任せください

広田製作所は、石英ヒーター､半導体用各種ヒーター、シーズヒーター､ カートリッジヒーター、半導体製造装置、理化学用電気炉･装置を 提供しています。 小型管状炉や 薬液加熱用のテフロンヒーター、二重管・4本組の 石英ヒー...

メーカー・取り扱い企業： 広田製作所

断熱材不要が特徴の小型ヒーター！気体加熱器『クリーンホットミニ』

断熱材不要構造が特徴のクリーンホットを小型化！手のひらに乗る大きさで重…

『気体加熱器/クリーンホットミニ』は、特殊細径ヒーターおよび特殊構造 の採用により加熱効率が良く、加熱対象ガスの正確な温度制御が可能な電気 ヒーターです。 従来の「クリーンホット」とは異なり、ヒーターとガス流路を隔離した ため、対象ガスはヒーター表面に触れることなくクリーンに加熱されます。 内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外表面温度の低温化を実現 しました。断熱材が不要な...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

半導体ヒーター『ブラックヒーター』

産業機械用のヒーターとして！クリーンなエネルギーに交換する画期的な技術

『ブラックヒーター』は、その少ない電力で温度を発生させる特質を 最大限効率よく電気エネルギーを温度と言うクリーンなエネルギーに 交換する画期的な技術です。 光・ノイズ・磁波・ガスを発生させないため、熱効率バツグン。 発熱と放熱のバランスをとり設定温度以上には上昇しない自己安定機能、 万が一の時も安心な昇温防止機能を搭載しています。 結合分子が安定しておりスパークやスイッチン...

メーカー・取り扱い企業： 形六有限会社

半導体洗浄装置用ラインヒーター

最高９０℃で利用可！ＮａＯＨ水溶液の加熱に適した循環用加熱ヒーター

本製品、PRH（Protect　High　Temp）ヒーターは、NaOH加熱時の 腐食減肉速度の上昇に伴うヒーター断線・タンクからの漏れなど、 様々な問題点の一つ一つに着目して開発されたものです。 ...　 【特　長】 ■耐久性に優れ、高濃度・高温度での使用が可能。 ■水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液の高濃度での使用を実現。 　（工業で一般的に使用される４８％以上の濃度で利用可能）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダステム

加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決！半導体製造装置業界で注目！

アルミ展伸材でもできる複合材内蔵型鋳込みヒーターは、高温環境下、真空環…

当社の材料の特長は、ヒーター線や水冷パイプなどを溶湯アルミで くるむ技術（鋳ぐるみ）です。 溶けたアルミで鋳ぐるみすることで、アルミの接点との空気層をなくし、 熱伝導率と均熱性を大幅に向上させます。 また、上下の冷却プレートにマイカヒーターを挟み込むことにより、 加熱と冷却の両方を一体化した構造が可能です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所　

スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール □■特徴■□ ■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール ■小スペースに大容量の出力が可能 ■精密な温度制御が可能 ■タイプ：SWR...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター活用事例

配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱す…

半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み（周囲温度が低いときにガスが液化する現象）防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。 ...何を温めるかにより、ヒーターの種類は変わってきます。 また、適切な温度管理を求めるお客様も多いので、弊社のmonooneシリーズをおすすめしております。 「被加熱物」を確実に温めて、温度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スリーハイ

ワイエイシイメカトロニクス株式会社　事業紹介

生産環境の課題を解決する各種製造装置およびシステムを提供いたします

ワイエイシイメカトロニクス株式会社は、ハードディスク関連製造装置 の製造・販売を主要業務としているワイエイシイホールディングスの グループ会社です。 HDD用バニッシャー装置、クリーンコンベアといったハードディスク 関連やテストハンドラーといった半導体、太陽電池関連などを主に取り 扱っております。 【事業部】 ■MD事業部 ■SC事業部 ■PV事業部 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業： ワイエイシイメカトロニクス株式会社 本社

平板鋳込みヒーター

熱伝導性に優れ、ヒーター表面の温度が均一！形状、寸法は思いのままに設計…

『平板鋳込みヒーター』は、クリーンなエネルギー、高温での使用、 ワーク大型化も可能に出来る製品です。 形状、寸法は思いのままに設計製作可能。熱伝導性に優れ、ヒーター表面の 温度が均一です。 孔加工する事により半導体の生産ライン用熱板（多孔質吸着加熱用）にも 使用出来、冷却パイプ鋳込む事により加熱・冷却が可能になります。 【特長】 ■形状、寸法は思いのままに設計製作可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社幸電機製作所

【用途・適用炉形式】金属フレームヒータ

炉内900℃まで対応！クリーンな環境で使用できる工業用電熱ヒータ

貞徳舎が提供する『金属フレームヒータ』は、金属熱処理炉・ 半導体用拡散炉・ガラス熱処理炉・各種実験炉など、クリーンな環境を 求められる用途でも安心してお使いいただける工業用電熱ヒータです。 丸型・角型ピット炉をはじめ、ベル型炉、箱型バッチ炉、管状炉、 ...

メーカー・取り扱い企業： 貞徳舎株式会社

クリーンルーム用ジャケットヒーター『CJシリーズ』

『低価格』 ×『 短納期』

◆クリーンルーム対応 　半導体工場向けヒーターを作り続けてきたノウハウを生かし、 　ダストを極力抑えた仕様で丁寧に製作しています。 　また、材料に半導体の害になるシロキサンは含まれておりません。 ◆低価格・短納期を実現 　現場で良く使用される32A・40A・50Aそれぞれの配管サイズに合わせたパーツを取り揃えました。 　直管・エルボ・クランプを組み合わせてラインでのコーディネートが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京技術研究所 本社営業部

ペルチェ温度コントローラ(温調器)

半導体検査装置、理化学機器やバイオ装置などに最適な温調器。

システムに合わせてパワーユニットを増設可能なペルチェ用温度調節器(温調器)です。 半導体検査装置、理化学機器やバイオ装置など 大きなパワーを必要とするシステムに適切なパワー供給が可能です。 〜特長〜 ●最大駆動能力：２４Ｖ／５６Ａ　１３００Ｗの高パワー ●増設パワーユニットでパワーを最適化できます。 本体のペルチェ駆動能力 ：ＤＣ２４Ｖ　７Ａ（定常時） 増設パワーユニット部出力：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ビックス

【食品業界～半導体業界まで】”熱”の用途別カタログ　Vol.1

「洗浄」と「乾燥」に活用できる製品をイラスト付きでわかりやすくご紹介！

工業用シーズヒーターや熱電気を取り扱う八光電機の『”熱”の用途別カタログ　Vol.1』では、熱の用途にあわせた洗浄液・薬液加熱用製品および送風・熱風発生機関連をご紹介しています。 本カタログでは「洗浄」と「乾燥」にスポット当て、ヒーターの使われる場所をイラスト付きでわかりやすく掲載しております。 【掲載製品の一例】 ■サブマリンヒータースリム →防水仕様で取付いらず ■洗浄液用ス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社八光電機

横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店