スルーホール基板搬送装置「フロートチャックＬＮＡーＳ型」

グリーンシート・スルーホール基板・通気性シート・不織布を非接触にて搬送…

非接触搬送装置である「フロートチャックＬＮＡ－Ｓ型」は、空気を噴出することにより、セラミックグリーンシート・スルーホール基板・不織布・通気性シートを非接触にて懸垂保持し、搬送します。 非接触搬送装置「フロートチャックＬＮＡ－Ｓ型」は、ノズルより噴出する高速空気流...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の「非接触チャック」は、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 ●多種多様のワークに対応 ユーザーの業種は、半導体、FPD、偏光板、フィルム、光学、エレクロニクス...

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微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。...

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異なった曲率のレンズに対応するレンズベルヌーイチャック

１機種のレンズベルヌーイチャックにて広範囲の曲率のレンズに対応可能

「異なった曲率レンズのレンズに対応するレンズベルヌーイチャック」は、　空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、「異なった曲率レンズのレンズに対応するレンズベルヌ...

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気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析

気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理…

－Ｃ型」の概要を以下に示します。また、仮定として（１）部材との隙間は「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」のパッド半径に比べ非常に小さいとする。従って、流れは一次元流れで近似できるとする。(２)ノズルOから噴出された噴流はクッション室壁面に当るか若しくは滑らかにAB面に流れる。その場合､A近傍や噴流の衝突点C近傍では渦を含む２次流れが生じると推定される。しかしながら､この解析ではこれらの影響は無視する。(...

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非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　 ローダ・アンローダに最適...

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射出成形機非接触取り出し機

射出成形機非接触取り出し機

「非接触射出成形取り出し機」は、空気を噴出することにより高速空気旋回流の粘性作用によるエゼクタ効果により内部空間に負圧を生じさせ、この負圧によりワークを吸引するとともに、圧力室型クッション効果による反発作用によりワークを非接触にて吸引保持す...

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段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。 　積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部の太陽電池ウエハとの空間に負圧を発生させ、最上部の太陽電池ウエハを吸引浮上させる。　浮上した太陽電池ウエハは、「フロートチャックＳＫ型」と同調した移送機構により１枚ずつ前方に移...

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排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

ASｉＣ型」は、保持するウエハ に対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびサファイア基板と接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われてます。　...

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プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

『プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を非接触状態...

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グリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」

グリーンシートを空気で運ぶ

セラミックグリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」は、気体を空気を噴出することにより、セラミックグリーンシートを非接触にて懸垂保持し、搬送します。 セラミックグリーンシート非接触搬送装置「フロートチャックSAG型」は、ノズルより噴出する高速空気流が直接グリーンシート...

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