運動による摩耗を低減！長寿命なシール材『スリッパーシール』

PR摺動抵抗による損傷からOリングを保護！優れた耐溶剤性を発揮し、シール部…

『スリッパーシール』は、シール摺動部に取付けることで、 往復運動や回転運動によるOリングの損傷を防ぐ製品です。 PTFEの低摩擦特性とゴム弾性、シール圧により、摩擦・摩耗を大幅に低減。 JIS規格のOリング溝の寸法のまま使用できます。 また当社では、腐食性液体などに有効な「リップシールパッキン」や、 耐溶剤性・耐薬品性に優れ、化学工場の配管継手に適した 「ヘルールガスケット」と...

メーカー・取り扱い企業： マスオカ東京株式会社

FOOMA JAPANに実機出展！世界で選ばれ続ける真空ポンプ

PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)！まずは評価機で…

【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 　従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

流体Oリング使用の真空シール　フェローシール（R)

磁性流体が磁界へ反応する特性を応用した真空回転導入器。コンタミ無し

【商品説明】 磁性流体が磁界へ反応する特性を応用した真空回転導入器。 接触式のものより、長寿命であり、コンタミネーションを発生させない 特徴を持っております。 ◆掲載内容◆ 　　　〜あらゆる真空加工装置に対応する 　 　 　 　　　　　高品質なシールを数多く掲載〜 　　　・ミニチュアフェローシール 　　　・スノーホールフェローシール 　　　・フランジ付フェローシール ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

ダイレクトドライブ　FerroDrive

磁性流体シールにDCサーボモータを組み込んだダイレクトドライブ製品

磁性流体シールにDCサーボモータを組み込んだ ダイレクトドライブ製品 【特徴】 ○磁性流体シールにモータをビルトインすることで 　真空チャンバーヘの回転導入にも、ドライブ用モータ/ 　プーリー/タイミングベルトやモータドライバなどの部品を 　そろえる必要がなく、その取り付けや調整などの労力を大幅に削減 ○プーリー駆動の影響による、回転精度・損失などの課題をも一挙に解決 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

真空シール『マルチプロセスフェローシール』

真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール

『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ [3軸タイプ] ■高い振れ、回転精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

磁性流体防塵シール『Exclusion Seal』

半導体・液晶・クリーン環境用に最適！完璧なシール効果の磁性流体防塵シー…

『Exclusion Seal』の基本原理は、磁気回路を形成するためのユニットとして、 永久磁石、N極とS極、2つの磁極のためのボールピースからなっており、 この磁気回路ユニットに磁性シャフトを通すことによって、 磁束がシャフトとボールピースのラジアルギャップに集中し、 そのギャップ部に磁性流体を充填すると液状のOリングシールが形成されます。 この技術を応用して現在ではOA、FA機器...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

真空シール『ホローシャフトフェローシール』

カートリッジ機構採用！既存のシャフトに合体することができる真空シール

株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ホローシャフトフェローシール』は、カートリッジ機構であり 既存のシャフトに合体することができます。 スルーホールタイプ、フランジタイプ、カンチレバータイプ（活性ガス対応）が 設定してあります。 その他オプションとして、シャフト固定用クランプのないタイプも ご用意しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

真空シール『ソリッドシャフトフェローシール』

幅広い用途に応じて機種を設定！あらゆる真空加工装置に対応する高品質なシ…

株式会社フェローテックでは、あらゆる真空加工装置に対応する 高品質なシールをご提供しています。 『ソリッドシャフトフェローシール』には、ミニチュアタイプ、 スルーホールタイプ、フランジ付タイプ、ヘビーデューティタイプと、 幅広い用途に応じて機種が設定してあります。 シャフトの動力接続端部とプロセス端部の形状は小径の物を除き、 キー溝機構を標準品として定めており、その他オプションとし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

フェローシール　お問合せシート

フェローシールをご検討の際に本シートをご使用ください

あらゆる真空加工装置に対応する「フェローシール」のお問合せシートです。 フェローシールをご検討の際に本シートをご使用ください。 【確認項目概要】 ■雰囲気 ■真空度 ■許容ヘリウムリーク量 ■耐差圧値（圧力差） ■雰囲気温度　など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【確認項目】 ■雰囲気 ■真空度 ■許容ヘリウムリーク量 ■耐差圧値...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス