組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』

PRギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能！ペー…

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』は、 ペール缶から直接、材料を吐出できる材料圧送ポンプです。 サーボ駆動により、高精度の吐出を実現しており、 季節に合わせて吐出量を調整するといった手間も減らせます。 放熱ギャップフィラーや放熱性グリスなどの半固形状の高粘度材料などのスムーズな送液が可能になり、 塗布作業などの高品質化・作業効率向上などにつながります。 ...

メーカー・取り扱い企業： トミタエンジニアリング株式会社

ポンプ用ドライガスシール『Type-2800 シリーズ』

消費動力を削減！多様な用途への適用実績、幅広い使用条件に適応可能

『Type-2800 シリーズ』は、逆圧対応構造のポンプ用ドライガスシールです。 ダブルシール構造により、大気側へのプロセス流体の漏れが無く、 カートリッジ構造により、簡易な取付け/取外しが可能。 また、一般用途向けシールの「2800Eシリーズ」や、 高負荷用シール「2800Xシリーズ」などもお取り扱いしています。 【特長】 ■ダブルシール構造 ■ゼロエミッション ■プ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ジョン・クレーン株式会社