組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

キャンドポンプ【液漏れしない構造、アンモニア(NH3)等に好適】

PRアンモニア混焼発電、タービン&エンジンの燃料移送用途、アンモニ…

外部漏れの無いキャンドモータポンプが、脱炭素関連の設備で活躍します。 【主な特長】 ◆既存発電所へのアンモニア混焼 ◆アンモニアを燃料とするタービン発電や船舶用エンジンの燃料用ポンプ ◆アンモニアサプライチェーン（貯槽、輸送関連） ◆CCS、CCUS(二酸化炭素回収・貯留技術）に関係する、多種・多様なニーズに対応 幅広い、流量や全揚程をカバーし、各種法規対応も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社帝国電機製作所

真空UV硬化装置『ＫＮＵＶ－１』

真空環境下でのＵＶ照射により硬化処理効率ＵＰ！ 最大８インチまでのウ…

★ 真空環境下でのＵＶ照射により硬化処理効率ＵＰ！ ★ 最大８インチまでのウェハリング対応！ ★ 窒素パージ不要でランニングコスト削減！ ★ 工程ウエハ処理に最適！ ・酸素濃度を真空環境にして ＵＶ照射すれば硬化不良を低減 ・デバイス直下のボイドも真空環境により除去 大気圧(10万Pa)での酸素濃度（約20％） 本機真空チャンバー圧(5Pa)での 酸素濃度⇒ ０．００１％◇ 主要...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社