検査装置　「ウエハエッジ外観検査機」

傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現

検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に 高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッジの精細画像検査を実現しました。外部もＰＩＯ制御が可能で自動機に組込むこと...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

超高速　ワイヤーボンド3次元外観検査装置

短時間検査、3次元測定、高精度、カスタマイズ可能な外観検査装置です。

本装置は、超高速（１視野１秒定地）で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。ワイヤーの高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール計上を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。 ■装置構成例 （2次元画像処理...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社