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PR高速かつ正確なガラス微細加工が可能。加工時の応力を抑えて、マイクロクラ…
『LPKF Vitrion M 5000 Gen2』は、独自に開発した「LIDEプロセス」を採用し、±5μm以下の高精度でガラス微細加工が可能なレーザーシステムです。 加工時の応力を最小限に抑え、チッピングやマイクロクラックの発生を防止。 アドバンストパッケージングで標準使用される150×150mmから 510×515mmまでの大型パネルに対応し、基板のサイズや 形状に合わせて柔軟に対...
メーカー・取り扱い企業: LPKF Laser&Electronics株式会社
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半導体製造装置用サファイアカスタム品のご提案【技術データ進呈】
PRどんな複雑なサファイア加工依頼にも挑戦します。1個からでもお気軽にお問…
創業77年の老舗サファイア製造メーカーです。 サファイアの大型結晶を自社で育成しているため、1mm以下の微細な製品から 写真のような300mm程度の大型窓の製作も可能です。 設計段階からお客様のご要求に寄り添い、品質的/コスト的に最適なカスタム製品を共に作り上げていくことが得意です。 1個からのお問い合わせも歓迎しておりますので、ご遠慮なくお問い合わせください。 切断、研削、研磨といった基本的...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社信光社
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大型総合ガラス基板搬送設備など液晶・ガラス関連設備の製品ラインアップを…
備』をご紹介します。 「大型総合ガラス基板搬送設備」は、エア浮上CV、光学位置決め装置、高速移載装置、 ロボットローダー、バッファ装置、基板旋回装置などで構成されるクリーンルームでの 大型ガラス基板搬送ラインです。 そのほか、「ガラスパッカー・アンパッカー」をはじめ、「エアー浮上搬送装置」や、 「ワイヤーカセットバッファ装置」などをラインアップしています。 【ラインアップ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンテック
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10Gガラス基板非接触搬送装置
圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特にLCD用第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)の非接触搬送用に採用されている。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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炭素繊維強化プラスチック(CFRP)用途例【産業用ロポット】
炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の特性を活かした産業用ロボット分野…
当社で製作した実績を含め、CFRPの用途例をご紹介します。 ■液晶ガラス基板搬送アーム ・各処理工程装置間においてガラス基板を高速、高精度で搬送可能 ・10世代の大型ガラス基板用、250℃の高温環境にも対応可能 ・低アウトガス仕様により、真空環境下でも使用可能 ■シリコンウエハ搬送アーム ・たわみが軽減され、カセットへの干渉を防止 ・搬送動作中の...
メーカー・取り扱い企業: TIPcomposite株式会社
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気体垂直噴流方式(VGFS)を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…
して、同じ供給空気量であれば、 2~6倍と格段の懸垂力を発揮しています。 気体垂直噴流方式「フロートチャックSAC型」シリーズの開発により空気消費量が大なることで懸案であった「第10世代液晶大型ガラス基板」その他の大型、大重量ワークの非接触搬送を可能 にしています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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クリーン度の維持に貢献!半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブテクノロジー
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