第三の光加熱源！LEDアニール装置

PR加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

【導入事例から学ぶ】生産管理システム活用術～機械・装置・機器業～

PR「余剰在庫16.8％削減見込み」「紙の集計業務40％減」など、機械・装…

今回、『生産革新シリーズ』や当社のソリューションを活用して現場課題を解決した成功事例を、 機械・装置・機器製造業に特化してご案内します。 【資料概要】 ■システム再構築で、データの精度向上と事務作業の効率化を実現（半導体製造装置などの製造業） ■トータル200時間／月の業務時間の短縮と余剰在庫の削減を実現（電子機器・通信機器製造業） ■従来の紙ベースの業務フローを見直し、データに基づ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大塚商会 生産管理システム担当

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します

ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン