フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

無人フォークリフト『SE15/X1』

PRインテリジェンス・ロジスティックス・ソリューション！レーザーSLAM式…

当社で取り扱っている無人フォークリフト『SE15/X1』をご紹介いたします。 「SE15」は、生産効率の向上のため、24時間安定した稼働が可能。 レーザーSLAM式ナビゲーションで自主走行、停止精度±10mmを実現。 また、「X1」は、専門家不要でお客様にて設定が可能です。 本体に制御システムを搭載しているため、単体で稼働できます。 【特長】 ＜SE15＞ ■24時間安定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マキテック

マクミラン　マスフローセンサ　Ｍｏｄｅｌ　５０シリーズ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レ…

～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはＮＩＳＴにトレーサビリティが確保されています。使用用途により本体材質、継手、電機接続、電源電圧、など選択する事が可能とな...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　最高精度圧力センサＡｃｃｕＳｅｎｓｅ　モデル　ＡＳＭ

モデルＡＳＭは、ゲージ圧・絶対圧・負圧を±０．０５％ＦＳの高精度で計測…

テンレス鋼の圧力ポートに適するガスや液体のゲージ圧、絶対圧、負圧を±０．０５％ＦＳ精度の正確な測定を可能にします。 特許構造のセンサ部はレゾナント可変静電容量方式を採用し優れた直線性と長期安定性を実現しています。温度使用範囲も広く温度影響による誤差は入念に補償され小さく作られています。ダイヤフラムには、過圧ストップの保護機構があり意図しない急激な圧力上昇に対して保護する安全な設計になっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

汎用型防水端子箱モデル　圧力センサ　ＳＭＴ　シリーズ

汎用型でセンサに防水端子箱が付き０～２０ｋＰａから２ＭＰａまでの圧力計…

。センサ出力はＤＣ４～２０ｍＡの電流出力タイプで、市販されている受信用圧力表示器と簡単に組み合わせての使用が可能です。サヤマトレーディングでもスケーリングＤＰＭを用意しています。量産化により低価格を実現しているので各種機器、設備の圧力計測、制御用の組み込み用、圧力センサとして使用出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

溶接構造型調整機能付　圧力センサ　ＳＨＶ／ＳＨＩ　シリーズ

汎用型で圧力０～２０ｋＰａから２ＭＰａまでの計測ができ、本体はＳＵＳ３…

多数の圧力レンジでカバーしているので用途に合わせ選択する事が容易にできます。 センサ出力は電圧タイプと電流出力タイプがあり受信用圧力表示器と簡単に組み合わせての使用も可能です。量産化により低価格を実現しているので各種機器の圧力計測、制御用の組み込み用、圧力センサとして使用出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

汎用型フラッシュダイヤフラム圧力センサ　ＳＸ／ＦＸ　シリーズ

汎用型フラッシュダイヤフラム圧力センサで計測範囲は０～２０ｋＰａから１…

０～－１００ｋＰａで精度±０．５％ＦＳの豊富な種類を用意しています。 どちらもセンサ出力は電圧タイプと電流出力タイプがあり受信用圧力表示器と簡単に組み合わせての使用も可能です。量産化により低価格を実現しているので各種機器の圧力計測、制御用の組み込み用、圧力センサとして使用出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

溶接構造型絶対圧　圧力センサ　ＳＢＶ／ＳＢＩ　シリーズ

汎用型ローコスト絶対圧計測用圧力センサです。計測範囲は０～５０ｋＰａか…

ａまでの４レンジで標準は精度±０．５％ＦＳです。 センサ出力は電圧タイプ１～５ＶＤＣと電流出力４～２０ｍＡＤＣタイプがあり受信用圧力表示器と簡単に組み合わせての使用も可能です。量産化により低価格を実現しているので各種機器の圧力計測、制御用の組み込み用、圧力センサとして使用出来ます。 センサへの圧力接続は一般的なＲ１／４を使用しており簡単に準備できます。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

小型チタン製圧力センサ　ＳＴ／ＴＩ　シリーズ

小型のチタン製ダイヤフラムの圧力センサで、耐腐食性に優れ圧力レンジは０…

続継手はＲ１／４を採用しているので各種の圧力配管に簡単に接続する事が出来ます。センサ出力は、電圧タイプと電流出力タイプがあり受信用圧力表示器と簡単に組み合わせての使用も可能です。量産化により低価格を実現しているので各種機器の圧力計測、制御用の組み込み用、圧力センサとして使用出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　防滴型ゲージ圧センサ　モデル２５６　シリーズ

モデル２５６シリーズは、防滴構造が必要な場所で使用する為に設計されアル…

れ、アルミダイキャストの筐体に収められています。セトラ特許の可変静電容量センサは、堅牢な静電容量センサとして設計され、衝撃、振動、温度、ＥＭＩ／ＲＦＩ、など機械的及び、温度安定性に、優れた耐環境性を実現しています。センサ部のシンプルなデザインはダイヤフラムと絶縁された電極との間に静電容量を形成します。圧力によるダイヤフラムの変形を静電容量の変化として検出しＡＳＩＣベースの電子回路によりリニアナ信号...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／…

ファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用することにより、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。パーティクル発生がなく、優れた再現性を実現し、腐食性のある化学薬品や溶剤の長期に渡る正確な計測が可能となります。圧力接続はフレアータイプの継手を採用し簡単に接続でき、流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続には１．８ｍのケー...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

電空レギュレータ『QB3シリーズ』

IP65防滴構造！ボリュームブースター内蔵で、最大流量850SLPMを…

QB3シリーズ』は、真空から1MPaの圧力範囲においてコマンド入力信号に 比例して出口側の圧力を制御することができる電空レギュレータです。 ボリュームブースター内蔵で最大流量850SLPMを実現し、本体は2機の ソレノイドバルブ、圧力センサ、制御回路で構成。 圧力センサのフィードバック信号とコマンド入力信号が制御回路で比較され、 2機のバルブを駆動させ望ましい圧力制御を行います。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

テクフロウ社　薬液用流量センサ　ＩＲ−ＯＰＦＬＯＷ

ＰＶＤＦ製薬液用精密流量センサＩＲ−ＯＰＦＬＯＷは、６種類の流量サイズ…

薬液用精密流量センサＩＲ−ＯＰＦＬＯＷは、６種類の流量サイズで０．１から１２０Ｌ／ｍｉｎまでのレンジをカバーします。接液部は独特の設計により全てＰＶＤＦで作られ低摩擦、長寿命を実現しています。出力信号は光電気信号をピックアップしプリアンプで矩形は整形され出力ピックされます。 ターンダウン非は３０対１で広く、センサ上流部に整流部が不用で取付姿勢に影響されません。使用温度範囲は...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　高精度差圧センサＡｃｃｕＳｅｎｓｅ　モデル　ＡＳＬ

高精度 ±０.０７％ＦＳ 優れた直線性と安定性を実現

＜特徴＞ ● 高精度 ±０.０７％ＦＳ ● セトラ社のレゾナント可変静電容量センサの方式を ● 採用し優れた直線性と安定性を実現 ● 過負荷耐圧に優れる（オプション選択可能） ● 広い使用温度範囲で温度影響が小さい ● 校正専用アクセサリでＺｅｒｏ/Ｓｐａｎ 調整が容易 ● ＣＥマーク取得、ＲｏＨＳ対応 詳細は、資...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　湿度センサ　モデルＳＲＨ

セトラ社　湿度センサ　モデルＳＲＨ 精度は２，３，５％の三段階用意

ＳＲＨシリーズは長年の実績のあるセトラ社の静電容量測定技術と独自のＡＳＩＣを組み合わせて作られています。汚染への耐性が強く、長期安定性に優れドリフトの少ないセンサを実現しています。壁掛け型、ダクト挿入型、屋外型の３種類があります。特に壁掛け型は電源取り出し以外のスペースを必要としません。ダクト挿入型、屋外型はアッセンブリが簡単で本体と配線を残したままセンサプローブ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　高性能圧力センサ　モデル５４６／５４７シリーズ

モデル５６７高性能圧力センサは、高過負荷アプリケーション用です。 圧…

テンレス鋼のダイヤフラム上に優れた抵抗の均一性でスパッタリングされ、製作されています。スパッタ薄膜技術は、単純な構造のセンサ設計を可能にし、高精度でドリフトを排除し高感度でコンパクトなひずみゲージを実現しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　工業用ＯＥＭ圧力センサ　モデル５２２シリーズ

セトラ社　モデル５２２汎用圧力センサは、優れた安定性と高精度を必要とす…

ーション向けに設計されています。 モデル522のCVDひずみゲージの設計は、長期間の使用による圧力サイクルや熱影響に対して安定して使用出来ます。この長期に渡る安定性は年間０．２％未満の低ドリフトを実現し、高い信頼性をユーザに保証します。すべての接液部は１７－４ＰＨステンレス鋼で構成され、適合するガスや液体に使用可能です。 モデル５２２は精度０．２５％ＦＳ（オプション0.15％FS）、温度補償範...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　工業用圧力センサ　モデル５６７シリーズ

モデル５６７高性能圧力センサは、高圧アプリケーション用です。 ユーザ…

します。圧力変更機能は５：１まで可能で、スイッチとポテンショメータで行えます。 モデル５６７の薄膜センサは温度補償され長期に渡る圧力サイクルに対して長期安定性は、年間０．１５％ＦＳ未満のドリフトを実現し優れた信頼性をユーザに保証します。全ての接液部は１７－４ＰＨステンレス鋼で製作されほとんどの圧力媒体で使用可能です。 温度補償は－１０℃～５０℃は０．５％ＦＳ、-２０℃～８０℃は１％ＦＳ、計測精...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　マルチセンス　液体／液体　差圧センサ　モデル２３１

セトラ社、モデル２３１は、液体／液体用の差圧計測用圧力センサです。１台…

不用とします。オプションの液晶表示器はライン圧と差圧を現場で表示します。モデル２３１は薄膜センシング技術を組み込むセトラ独自のデュアル圧力センサで設計されています。この技術は優れた温度特性と直線性を実現し圧力サイクルにより引き起こされる長期ドリフトにを軽減しています。又３バルブマニーホールドも提供できます。マニーホールドはメンテナンスと初期使用を容易にする事が出来ます。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　高性能圧力センサ　モデル５４０／５４２シリーズ

モデル５４０／５４２シリ－ズ高性能圧力センサは、長期的に高いパフォーマ…

テンレス鋼のダイヤフラム上に優れた抵抗の均一性でスパッタリングされ、製作されています。スパッタ薄膜技術は、単純な構造のセンサ設計を可能にし、高精度でドリフトを排除し高感度でコンパクトなひずみゲージを実現しています。 圧力レンジの、０～１００ｋＰａから４０ＭＰａまでは１７－４ＰＨステンレス又はインコネルで接液部は構成されます。圧力レンジの、６０、６９ＭＰａと１００００ｐｓｉレンジはインコネル材質だ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

Introtek社　非接触型液面検知センサ CLD

イントロテック社のモデルBC1 は、光学技術を用いた非接触式の小型漏血…

、容器内部に直接触れることなく液面レベルと空気を検出することが可能です。 パルスタイプのテクノロジーは患者やプロセスの安全性が必須である最もクリティカルなアプリケーションに使用され、高精度な計測を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-800シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

グレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

高圧用電空レギュレータ『GXシリーズ』

コマンド入力信号に比例して出口側の圧力を制御！電空レギュレータのご紹介…

『GXシリーズ』は、真空から6.8MPaの圧力範囲において、コマンド入力信号 に比例して出口側の圧力を制御することができる電空レギュレータです。 ±0.25％の高精度、最大流量736LPMを実現し、本体は2機の ソレノイドバルブ、圧力センサ、制御回路で構成。 圧力センサのフィードバック信号とコマンド入力信号が制御回路で 比較され、2機のバルブを駆動させ望ましい圧力制御を行います。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1900

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

ル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　ゲージ圧　絶対圧　気圧　高精度圧力センサ　２７０

モデル２７０圧力センサは０～７００ｋＰａの絶対圧、ゲージ圧を±０．０５…

富な実績を重ねています。気圧レンジは気象庁形式認定品です。セトラ社独特の高度なチャージバランス回路とシンプルで丈夫なセトラセラムセンサとの組み合わせにより厳しい使用環境での長期に渡る安定性と信頼性を実現します。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

小型比例ピンチバルブ『MPPVシリーズ』

非接触で液体/気体の制御機能をもった高性能/高分解能ピンチバルブ【動画…

に 非接触で流量制御を高分解能に行うことができ 無菌のクリーンな環境が求められる各種プロセスで 活躍します。 【特長】 ■流量(液体/気体)を自動制御 ■高精度/高分解能の流量制御を実現 ■優れた繰り返し精度 ■電源喪失時は自動でロック ■電力を使うのは位置変更時のみ ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　気体用微差圧センサ　モデル　２６９

セトラ社、超微差圧０～２５Ｐａから豊富な圧力レンジで３種類の精度をがあ…

イアフラムと電極との間のキャパシタンス変化を検知してセトラ社独自の電子回路でリニアナ出力信号に変換します。センサの諸部品はバランスの取れた温度係数をもっているので温度影響が小さく、優れた長期安定性を実現しています。最大使用ライン圧は６９ｋＰａまで使用できます。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　高精度圧力センサ　モデル２０４

モデル２０４は、ゲージ圧・絶対圧・真空圧を±０．１１％ＦＳの高精度で計…

モデル２０４は、１７－４ＰＨステンレス鋼に適するガスまたは液体の正確な圧力の測定を可能にします。高レベルの出力信号、すぐれた安定性や精度、早い動的応答性を特徴としているので、多くの工業用途、研究所、航空宇宙・自動車産業に適しています。モデル２０４は、周囲温度の変化によるゼロシフトと感度シフトを入念に補償されているので、高精度を要する多くの用途に最適です。これらのモデルでは、セトラ社独自の電子回路が...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

汎用型ローコストゲージ圧　圧力センサ　ＳＴ／ＳＳ　シリーズ

小型の汎用で圧力０～１０ｋＰａから３５ＭＰａまでの計測ができ、本体はＳ…

接続はＯ－リングシールの構造でメンテナンスを簡単に行う事が出来ます。 どちらもセンサ出力は電圧タイプと電流出力タイプがあり受信用圧力表示器と簡単に組み合わせての使用も可能です。量産化により低価格を実現しているので各種機器の圧力計測、制御用の組み込み用、圧力センサとして使用出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-400シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

グレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-300シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

グレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-100シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

グレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-500シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

グレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-200シリーズ

あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…

グレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1200

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1500

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1400

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1300

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1100

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター　TEM-1800

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

ＢＤ社　超高圧用　高精度圧力センサ ＤＭＰ３３４ｉ

ＢＤ社　超高圧用　高精度圧力センサ ＤＭＰ３３４ｉ

● 薄膜センサを溶接した構造 ● ６０～２２０MPa FS まで５レンジを用意 ● デジタル補正により精度±０．１％ＦＳを実現 ● ４～２０mA または０～１０V 出力 ● ＲＳ２３２出力可（オプション） ● 用途例：高圧ポンプ 商用車 油圧装置 その他詳細は資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部