【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

実験・研究機向け　手動式露光装置『MA-1000シリーズ』

独自のギャップ機構と高速画像処理！オートアライメントシステムで多層露光…

『MA-1000シリーズ』は、多品種小ロット生産や実験・研究に好適な 手動式露光装置です。 ソフトコンタクト露光と、プロキシミティ露光を採用可能。 また、用途と基板サイズに合わせて超高圧水銀ランプ、各種ミラー、 特殊レンズを好適に組み合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

ウエハ用実験機～量産機まで製作対応可能　オーブン(焼成)ユニット

当社グループであるSCREENフェバックス独自設計『オーブン(焼成)ユ…

ENフェバックス独自の設計により、温度再現性、面内の温度均一性は高い性能を誇ります。 液晶市場向けコーターデベロッパーシリーズにインラインされている 焼成ユニットを異業界に展開。 手動実験機から量産機、小サイズから大サイズのワークまで、 好適な仕様をご提案。お客様のご要望に合わせた装置を製作します。 【特長】 ■省スペース化 ■低発塵対応 ■高い温度再現性、面内温度均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

薄膜/厚膜対応スリット式塗布装置『マルチコータLC-Mシリーズ』

高精度な塗布均一性を実現！複数品種の塗布が可能な2ノズル仕様も選択可能

スリット式塗布装置です。 自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、 LD/ULDとのインターフェースに対応。 各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能なので、 実験・少量生産に好適です。 【特長】 ■各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能 ■高精度な塗布均一性を実現 ■段取り替え不要 ■多種多様の配管系統を準備でき、ご要望の膜厚・均...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ