フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

汎用型差圧式エアリークテスタ｜FLA-0201 series

PR【新発売】様々な測定環境にフレキシブルに対応できる汎用型エアリークテス…

様々な測定方式（ワークとワークの比較、ワークとマスタの比較、ワークと固定マスタ（マスタレス））や、 測定環境にフレキシブルに対応できる汎用型エアリークテスタ。 圧力範囲により豊富な9種のラインアップは高圧にも対応しています。 マスタリング測定により短時間でも高精度測定が可能な、フクダのフラグシップモデルです。 マスタレス差圧式エアリークテスタ『FLA-0200 series』もございます。 ●予...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フクダ

360度自由方向型エア駆動式リフター『プレインベアリフター』

内蔵されたエアシリンダーでワークを持ち上げ、360度自由方向に移動でき…

ます（PVL-Sシリーズ） セットする溝の形状や能力に合わせ幅広いラインナップがあります。 ワーク重量が重い場合は、数量を増やす、エア圧を高める、高能力モデル（PVL55SW）に変えるなどで対応します。 エアでは押上能力が足りないワーク用として、油圧駆動モデル（PVDLシリーズ）もあります。お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社