大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【生産性向上】ブランク材を一発で脱脂洗浄できる自動洗浄機

PR【テスト洗浄受付中！】金属部品洗浄を効率化。危険な有機溶剤や洗剤を使っ…

メタルシート洗浄機『MSW-1000HE』は、たった1工程で脱脂洗浄ができる自動洗浄機です。 各種加工やバリ取り作業の油・粉塵・汚れなどを、一回の通過で洗浄・乾燥でき、防錆効果も発揮します。 洗浄の通過速度は素材の汚れ具合によって無段階に調整可能。 次工程のバリ取り機のブラシに油汚れが付着せず、快適な作業環境を実現。 導入いただいた企業様から、お喜びの声を多くいただいております。 【お客様の声...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Eプラン

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

、パソコン、電磁開閉器、高圧放電ランプ、 マグネット・スイッチ付きモーターなどが瞬時電圧低下の影響を受けて 動作に支障をきたす可能性があります。 シリコンメーカ様では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける 可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、 エッチング、イオン注入、拡散、洗浄工程での影響が想定されます。 このため半導体の製造設備に対し「SEMI...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー