トップクラスの吐出空気量を誇るオイルインジェクションコンプレッサ

PRA/Eの吐出ポートの形状改善により圧力損失を低減！独自の圧縮機構を進化…

当社で取り扱っている「INV機/一定速機」についてご紹介いたします。 先端の加工技術と解析を繰り返し世界に冠たるZスクリューの最高性能を追求。 独自の圧縮機構を進化させ吐出空気量クラス最大水準を実現。 また、吸気・排気の冷却回路見直しにより周囲温度50℃でも異常停止しない 運転が可能です。 【特長】 ■トップクラスの吐出空気量 ■トップクラスの高効率 ■オーバーヒート事前警報や非常停止スイッ...

メーカー・取り扱い企業： 三井精機工業株式会社

蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo（デオポ）』

PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 ！生…

『Deopo（デオポ）』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルプラント

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

【基本構成】 ■金属汚染のない蒸気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ ■ウエハ口径：150,200mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MP...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『VALIUS（バリウス）』

レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置！超高速処理が可能

【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■エアーナイフ・温風乾燥 ■搬送系（マグネットローラー方式） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■基板サイズ：126-156mm角対応 ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：2200（W）× 850（D）×...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM（搬送系） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径：50-150mmΦ ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1200（W）×　1500（D）×22...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社