【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

タクボ・プレート熱交換器　HET/HEKシリーズ ※省エネルギー

PR気体対気体の排熱回収に優れ、各種乾燥機などから排出される“熱”を最大限…

タクボ・プレート式熱交換器 HET/HEK シリーズは、自社独自開発・特許取得のプレート構造が誇る熱回収効率で驚異のコストパフォーマンスを実現しました。内部伝熱板が2つのチャンネルを完全分離、排気中の湿気・ダストを完全にシャットアウト、”熱”のみを最高の状態で再利用できます。 【特徴】 ■通常のヒートシンク式熱交換器に比べ広大な伝熱板面積を有します。 ■80％以上の熱回収率を誇り（タクボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクボ精機製作所

排気圧力コントローラ　EPS5000シリーズ

排気ダクトの総流量・圧力管理により、大幅なエネルギーコストの削減が可能

本排気圧力コントローラは、枚葉式洗浄装置を始めとした排気ダクトラインの圧力変動による製造プロセスのユラギを防ぐための機器です。独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブにより、小型かつ極低圧損で高速での圧力制御...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エー・シー・イー

高精度基準流量校正器　ML-800/ML-500シリーズ

ピストンプルーバ方式の決定版　あらゆる流量計の校正・検査に最適

○小型軽量・低価格の現場持込タイプ ○Defender510,520は体積流量の測定器 ○Definer220,Defender530は標準状態 　（0℃一気圧）に測定流量を換算可能 ○給排気の接続により吸引流量の測定も可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エー・シー・イー