3分でわかる！AMR（自律走行搬送ロボット）とは？※解説資料進呈

PR【AMR（自律走行搬送ロボット）とは？】搬送の自動化でよく使用されるA…

AMRとは Autonomous Mobile Robot の略称で、自律走行搬送ロボットと呼ばれています。 SLAM機能を搭載し、周囲の環境地図を作成、自己位置を推定・自動で経路探索しつつ 目的地まで走行できます。 その特性上、様々な物を色々な場所に搬送する多品種・小ロット生産の現場向きです。 走行経路探索と人や障害物の回避を自動で行えるため、人との協働が可能です。 本資料は、...

メーカー・取り扱い企業： ASPINA：シナノケンシ株式会社

協働ロボットへ進化するマキテックAMR『Robot-Vシリーズ』

PR2D-SLAMのみで停止位置精度±1cmを実現！環境マップの作製やルー…

株式会社マキテックの『Robot-Vシリーズ』は、AMRの自律走行を可能にする ソフトウェア「Navitrol（ナビトロール）」を搭載した、協働ロボットへ 進化する自走走行ロボット（AMR）です。 変化する環境の中でも自己位置をロストすることなく安定的に走行が可能。 また、環境地図作成やルート設定も容易に行うことができ、AMR導入のリード タイムを短縮します。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マキテック

太陽電池作製装置（Si系、CIGS系太陽電池作製用のCVD装置）

高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC…

本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作製することが可能な装置です。太陽電池における光吸収層であるi層、およびpn層の各層が分離形成できるように、3つの薄膜堆積チャンバー、試料搬送用ロボットチャンバー、試料ストックチャンバーの合計5室で構成しております。...本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

クラスター真空成膜・評価装置紹介

測定・研究したい要素をそのまま！お客様のニーズに合致させることが可能な…

『クラスター真空成膜システム』は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、 サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置 などの分析機を備えた評価室から構成されます。 また、中央の試料自動搬送チャンバーは、各成膜室ならびに分析室と接続。 試料を真空中でロボット搬送し試料作製から評価までを自動で行います。 尚、すべてのチャンバーは高真空環境で接続させることも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

フォトプロセス解析露光装置　UVESシリーズ

最大25箇所、露光条件を変えてオープン・フレーム露光が可能。

フォトプロセス解析露光装置　UVESシリーズはフォトレジストの研究開発用露光ツールです。ステップ露光することで最大25箇所、露光条件を変えてオープン・フレーム露光が可能です。露光されたサンプルをレジスト現像アナライザを用いて現像解析することにより、フォトレジストの材料開発やプロセス開発を加速します。さらに、オプションの脱ガス捕集ユニットを用いることにより、露光中のレジストからのアウトガスの成分分析...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

テストルーム

超精密洗浄分野に特化したフッ素系洗浄をベースに、お客様のニーズに合わせ…

■対応基板サイズ：最大200mm×200mm ■スキャン方式：X-Yスキャン／θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スループット：□200mmを約4分／Φ200mmを約3分 ■ワーク装置：搬送ロボット(裏面吸着／エッジクランプ) ■装置外形寸法：W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm ■本体重量：約800 kg など ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 新オオツカ株式会社 東京支店