フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【特許技術】静音性に優れた「完全回転バランス型シリンダ装置」

PRシリンダの小型化/静音化でお悩みの方必見。機械的損失を大幅に抑えた高効…

完全回転バランス型シリンダ装置は、従来のレシプロ方式で生ずるピストン往復運動による機械的損失がありません。 ＜完全回転バランス型シリンダ装置の特長＞ ■従来のピストン運動によるエネルギー損失がありません ■水・オイル無しでの稼働を実現 ■レシプロ方式で見られる振動騒音をおさえました 【応用分野】 ■空圧コンプレッサー(エアコン、冷蔵庫等) ■真空ポンプ ■気体・液体等の流体移送ポンプ ■気体圧...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ケイ・アール・アンド・ディ (Ｋ．Ｒ＆Ｄ)

【技術資料】ピエゾアクチュエーター　ピエゾの立ち上がり時間の計算方法(負荷がある場合)

【技術資料】ピエゾアクチュエーター　ピエゾの立ち上がり時間の計算方法(…

電流センサ、静電容量センサとピエゾ素子を 提供している翔栄システム社技術資料 『ピエゾの立ち上がり時間の計算方法』のご案内です。 ピエゾの立ち上がり時間の計算方法(負荷がある場合) を 分かり易く解説した資料です。 ※資料をご希望の方は、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

【技術資料】ピエゾアクチュエーター ピエゾの立ち上がり時間の計算方法(無負荷の場合)

【技術資料】ピエゾアクチュエーター ピエゾの立ち上がり時間の計算方法(…

渦電流センサ、静電容量センサとピエゾ素子を 提供している翔栄システム社技術資料 『ピエゾアクチュエーター ピエゾの立ち上がり時間の計算方法』の ご案内です。 ピエゾの立ち上がり時間の計算方法(無負荷の場合）を 分かり易く解説した資料です。 ※資料をご希望の方は、カタログダウンロード下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社