フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

レーザー損傷閾値(LIDT)測定の代理店始めました！

PR予期せぬレーザー損傷を避けるためのレーザー損傷試験をお勧めします

当社では、レーザーオプティクスの損傷を調べることが可能。 顧客に合わせてレーザーへの耐力の測定及び検査など様々な試験に対応し、 損傷原因や欠陥の特定・オプティクスの寿命推定などができます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■試行錯誤の手間の削減 ■オプティクスの寿命推定が可能 ■オプティクスの品質検査(良品、不良品の判別検査) ■研磨、コーティングの最適化 ■損傷原因や...

メーカー・取り扱い企業： CBCオプテックス株式会社

試料に生じる反りやうねり、粗さの分析および測定

試料全体の変化を観察する技術や知見を集積！安全に駆動することが求められ…

常温で試料全体をスキャンし、3D画像として 表示する「VR-5000」を用いています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【TDM COMPACT3 仕様(一部)】 ■計測方式：プロジェクション・モアレ式 ■最大サンプルサイズ：515mm×370mm×115mm ■測定精度：±1.5μmもしくは測定値の2％(どちらか大きい方) ■反り(Z)分解能：1μm ■空間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック