エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

コーティング剤検査装置『Sonar』

PRUVライトを使った2Dコーティング剤検査装置。独自開発AIを使った気泡…

『Sonar』は、弊社が持つ画像処理検査技術とUVライト＋RG照明を組み合わせたコンフォーマルコーティング剤検査装置です。 コーティング領域の全面検査とコーティング不可領域の任意検査に加え、自社開発AI技術を使った気泡検出機能が標準装備されています。また、レーザー変位センサを使った膜厚測定（オプション）を搭載することでワーク毎のコーティング厚のバラつきを記録することが可能になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュッツジャパン

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV02シリーズ』

小型のアウトレットパネルを設計可能！装置への組み込みにも好適な圧力調整…

『S-TORRV02シリーズ』は、本体径φ35、標準面間70.5mmという 非常に小型の圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意し...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部