フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

情報通信インフラ用1～4kVAインバータINV1000-III

DC48VからAC100Vに変換する正弦波インバータ

、高い信頼性が求められるルータ、サーバ等のデータコム装置に適しています。（通信装置以外の用途には御使用頂けません） EIA規格又はJIS規格の19インチラックに搭載が可能な設計となっています。単機構成の場合、最大1kVA出力できます。冗長構成の場合、1kVA～4kVA出力まで対応可能となっています。 単機用途以外の交流電源装置に表示ユニットを搭載し各種状態表示（出力電圧・出力電流）ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 新電元工業株式会社