フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

直動システム｜ラック＆ピニオン直動システム

PRボールねじ搬送のたわみ・速度制限・大口径化・モータ大型化の悩みを解決！…

当社のラックアンドピニオン直動システムは、“高精度・高速・高搬送力・高耐久・長尺”を兼ね備えます。搬送重量がトンクラスでも高速・高精度に搬送可能。ラックはマシンベッドに直接設置の為、ボールねじで発生する”たわみ”の心配は不要です。 バックラッシ最小1arcminの遊星歯車減速機と、累積ピッチ誤差最小30μm／1000mmのラックにより、非常に高精度な位置決めが可能。ラックは最長2mですが、並...

メーカー・取り扱い企業： ストーバー・ジャパン株式会社

Portwell SBC ROBO-8122VG2R

Intel Xeon E5-2600 v3 Haswell EPプロ…

l EP プロセッサ対応 ■ DDR4 2133/1866を最大256GBまで増設可能 ■ ASPEED AST1400グラフィックエンジン VGA搭載 ■フレキシブルPCI Express構成 (最大36レーン) ...

メーカー・取り扱い企業： サンテックス株式会社

Portwell SBC ROBO-8113VG2AR

第6世代 Intel Xeon E3 v5/CoreTM i3 Sky…

まで増設可能 ■DVI-I(DVI-D+VGA), HDMI マルチプルディスプレイ対応 ■2x Gigabit Ethernet (PCIe x1接続) ■フレキシブルPCI Express構成 ...

メーカー・取り扱い企業： サンテックス株式会社

Portwell SBC ROBO-8113VG2AR-Q170

第6世代 Intel CoreTM i7/i5 Skylake-S プ…

まで増設可能 ■DVI-I(DVI-D+VGA), HDMI マルチプルディスプレイ対応 ■2x Gigabit Ethernet (PCIe x1接続) ■フレキシブルPCI Express構成 ...

メーカー・取り扱い企業： サンテックス株式会社