独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

電動アクチュエータ　CMX （精密ステージ） [THK公式］

画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ　CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

電動アクチュエータ CSKR、CGL（クリーン） [THK公式］

低発塵構造を採用しクリーン環境に最適！ 高速性・高剛性・長期メンテナ…

●低発塵構造 シールシートを用いた独自のカバーリング機構により、CSKR20/26ではクリーン度ISO14644-1クラス3（FED209Eクラス1相当）、CSKR33/46、CGLではクリーン度ISO14644-1クラス4（FED209Eクラス10相当...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

電動アクチュエータ　EX （精密ステージ） [THK公式］

優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用

。 ●高剛性XYステージ XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。 ●ガタのない連結機構 X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社