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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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操作安定範囲が広い。圧力損失が少ない。蒸留塔 リフトトレイ。
「リフトトレイ」は、リフト機構により開口比が自動調整され圧力損失が少なく、安定捜査範囲の広いトレイです。トレイエレメントは固定された多孔板と可動多孔板、可動多孔板廻り止め兼リフト上限止め、外套より構成されています。開口比は無通気...
メーカー・取り扱い企業: 関西化学機械製作株式会社
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短行程蒸留装置『Short Path Distillator』
0.1Pa付近までの蒸留操作が可能!微量低沸点成分除去に最適な装置
沸点液中の微量低沸点成分除去に最適 ○熱に敏感な物質も短時間、1パスで蒸留する ○装置のスケールアップが容易 ○エバコンジャケットの採用により、スピーディーなスタートアップが可能 ○クランク機構付ローラーワイパー →洗浄時の解体、組み立て、ローラー交換等が容易に行える 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 関西化学機械製作株式会社
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