独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

光学顕微鏡用マイクロプローブ

従来のマニピュレータとは異なる自走式ナノプローバロボット『miBot』…

た高分解能イメージングにも対応し、新型のFE-SEMを使用し0.5kV未満の低加速電圧での高分解能イメージング下での、ナノプロービング試験を実現します。 また、SEMのサンプルステージのチルト機構を使用して、ナノ・プロービングシステム全体を傾けることが可能です。 FIBによる回路修正とナノプロービングを同一環境下で行うことか可能となり、より迅速に且つ正確な故障解析結果を得ることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 東機通商株式会社

SEM-FIB用ナノプローブ / 光学顕微鏡用マイクロプローブ

従来のマニピュレータとは異なる自走式ナノプローバロボット『miBot』…

た高分解能イメージングにも対応し、新型のFE-SEMを使用し0.5kV未満の低加速電圧での高分解能イメージング下での、ナノプロービング試験を実現します。 また、SEMのサンプルステージのチルト機構を使用して、ナノ・プロービングシステム全体を傾けることが可能です。 FIBによる回路修正とナノプロービングを同一環境下で行うことか可能となり、より迅速に且つ正確な故障解析結果を得ることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 東機通商株式会社