高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

【スクラッチ試験機】ナノスクラッチテスタ(NST３)

薄膜の密着性・傷つき易さの定量化・ナノスクラッチ試験

ナノスクラッチテスタは、特に標準膜厚1000 nm以下の薄膜やコーティングの実際的な密着性評価に最適です。 有機系及び無機系のコーティングや、軟質及び硬質のコーティングの分析に使用できます。 光学用途から、マイクロエレクトロニクス用途、保護膜、装飾膜など様々な用途向けの、薄膜・多層膜のPVD・CVD・PECVD膜、フォトレジスト、塗装、ラッカーなどの膜の評価に利用できます。 金属合金、半導体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

【スクラッチ試験機】レベテストスクラッチテスタRST3

密着性・傷つき易さの定量化・スクラッチ試験機　レべテスト

レベテストスクラッチテスタは、標準膜厚1μｍ以上の硬質薄膜の密着性評価に広く使われています。 最大荷重は200Nでバルク表面、硬質のコーティングの分析に使用され、自動車部品で使われる硬質薄膜など産業部品の研究開発、さらには品質管理といった用途で抜群の有用性を発揮します。 パノラマモード機能によりスクラッチ傷を自動で顕微鏡画像撮影が可能です。 荷重・摩擦係数・傷の深さ・音響などのパラメーターを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

【スクラッチ試験機】マイクロスクラッチテスタ(MST3)　

様々な要求を満たすワイドレンジ試験機

マイクロスクラッチテスタ(MST3)は、標準膜厚5 μm以下の薄膜やコーティングの実用的な密着性を評価するために幅広く使われています。 有機材料及び無機材料のコーティング、軟質及び硬質のコーティングの分析評価に利用できます。 ...・ダイヤモンドスタイラススクラッチ法 ・特許取得済みの動機マルチフォーカスパノラマ機能を搭載したビデオマイクロスコープによる自動観察 ・荷重フィードバックループ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン