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17件 - メーカー・取り扱い企業
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PR毒性ガスに暴露する前に作業者を守る!災害・事故現場からの退避、対処の際…
当社では、日々の製造現場の安全を確保するポータブルガス検知器から、 災害・事故の際の対応の為の防護服・呼吸器まで幅広いソリューションを ご提案いたします。 ポータブルガス検知警報器「X-am (イグザム) 5100」は、フッ化水素、塩化水素、 臭化水素を検知できるので、作業者を暴露から保護。 空気呼吸器「PSS3000」は、ディマンドプレッシャによる高い安全性と シンプルなデザ...
メーカー・取り扱い企業: ドレーゲルジャパン株式会社 セイフティー事業部
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PRプロパン、アセチレンに比べCO2発生量を大幅削減!脱炭素社会に向けた溶…
『ハイドロカット 』は、水素ベースの切断・溶断用混合ガスです。 逆火がしにくい安全性があり、輻射熱が少なく作業環境の改善が可能。 プロパン、アセチレンに比べCO2発生量を大幅削減できます。 切断・解体時での逆火に対しての改善や、脱炭素社会に向けた建設現場での CO2削減のアイテムとしてご活用いただけます。 【特長】 ■プロパン、アセチレンに比べCO2発生量を大幅削減 ■逆...
メーカー・取り扱い企業: 東日本イワタニガス株式会社 開発本部
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赤外吸収法によりSiN膜中のSi-H,N-Hを定量
SiN膜中のSi-H及びN-H濃度をFT-IR分析により求めることが可能です。SIMS等の分析でも、水素濃度を求めることは可能ですが、全水素濃度であり、Siと結合した水素及びNと結合した水素をそれぞれ求めることは出来ません。FT-IRではSi-H伸縮振動とN-H伸縮振動が別の位置にピークを持つため、そ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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水素水などの溶液中水素濃度測定が可能です
水素水は体内の活性酸素を除去できると言われており、抗酸化作用に注目が集まっています。ただし、水に溶ける水素量はわずかであり、空気中に放置すると徐々に水素が抜けてしまうことや、水素は非常に小さい分子であるため、保存容器によっては長期間の保管ができないことが知られています。そのため、保管容器や保管方法が重要とされています。本事例では、水素水を紙コップに移したものとパウチ型の保管容器でどれだけ水素が抜けている...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TDS(昇温脱離ガス分析法)で金属中水素の脱離量の評価が可能です
鋼材など多くの金属材料は、常温で結晶格子内を拡散する拡散性水素により劣化(水素脆化)することが知られています。今回は水素を添加したステンレス板(SUS316L)について、TDSで水素の脱離量を評価した例を示します。150℃付近の低温域で拡散性水素と考えられる脱...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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最表面、単原子層の水素をTDSで評価可能です
TDSは試料を昇温し、脱離したガスをイオン化して質量分析を行う手法です。高真空中(1E-7 Pa)で、質量電荷比(m/z) 2~199について分析可能です。 今回は水素終端処理を施したSiチップについて、TDS分析を実施した例をご紹介します。TDSにて、水素終端の水素の脱離を捉えることができました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ライフタイム制御サンプルのキャリア濃度分析事例紹介
パワー半導体デバイスでは、ライフタイム制御のために、Si基板内に結晶欠陥を形成することがあります。ライフタイム制御領域の作成に用いられる元素の一つである水素イオンの熱処理条件の違いによるキャリア濃度分布を評価した事例を示します。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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「重水(D2O)処理」を用いた水素の深さ方向分析
ガラス材料における水(H2O)の浸透性を、重水素(D)の分布を測定することで評価した事例をご紹介します。もともと水素(H)が存在する場合、水の影響による水素であるかを区別することが困難です。そこで、重水(D2O)による処理を行い、安定同位体である...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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光沢面・つやなし面の違いを評価
OP(可塑剤)、アミン(m/z 182, 242)、アミド(m/z 256, 284)、カルボン酸(m/z 255, 283)など一般的な有機物系二次汚染物質は見られませんでした。Fe、有機物(炭化水素など)は光沢面の方が、SO4などはつやなし面の方が、わずかながら強い傾向が見られました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水…
毎にモニターできる質量分析法です。 TDSスペクトルは、横軸に温度、縦軸にイオン強度を表します。これにより、放出されるガスの脱離量の比較、脱離温度の比較が可能です。また、真空雰囲気下であることから水素や水も感度よく分析することができます。 ・試料から脱離するガス及び圧力と、発生温度の関係を知ることが可能 ・試料のみを加熱できるため、バックグランドが低く、水素、水、酸素、窒素などの低質量分...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱され…
ギーを測定し、衝突した原子の質量数を調べることで分析サンプルの成分や層構造を評価することができます。 また、固体試料にHeイオンを入射して前方に散乱されたHイオンを測定することで、サンプル中の水素濃度を評価することも可能です。この測定手法が水素前方散乱分析HFS(Hydrogen Forward-Scattering Spectroscopy)です。反跳粒子検出法(ERDA:Elastic ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】熱分解GCMSによる空気中高温加熱時の発生ガス分析
酸素存在下での熱分解挙動の追跡が可能
析を行う際は、実際に材料が暴露される環境と同じ環境下で加熱することが望まれます。 本事例ではポリスチレンをヘリウム中と空気中で550℃で熱分解した時の発生ガスの比較を行いました。ヘリウム中では炭化水素化合物のみが検出されたのに対し、空気中ではベンズアルデヒドなどの酸素との反応生成物も検出されました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ラマン分析を用いた薬液処理前後の状態評価
HF(フッ化水素)は、SiO2のウェットエッチング処理等で広く用いられており、半導体製造プロセスにおいて非常に重要な役割を果たします。しかし、一方で皮膚に触れてしまうと浸透し、骨を侵してしまうため非常に危険な薬品で...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能
異物検査装置で確認された異物の成分をクリーンルーム設置のTOF-SIMSで特定することが可能です。 CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分が分布していました。このことから、この異物はパーティクルというよりはむしろ、ウォーターマーク状の洗浄残渣であると推定されます。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出
でのバルク分析が可能 ・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能 ・導電性材料、及び補助電極を用いることで半導体材料、絶縁物材料も分析が可能 ・質量分解能が高く、妨害イオンの除去が可能 ・水素と希ガスを除く、Li以下のほとんどの元素について測定が可能 ・同位体比測定が可能...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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炭素材料中の官能基や不純物などに起因する脱ガスについて評価可能です
グラフェンの電子放出素子への応用や、カーボンナノチューブへの水素貯蔵など、炭素材料は真空中での用途が増えてきています。そのため真空中での炭素材料からの脱ガスを評価することは、今後の炭素材料の応用の上で重要なポイントとなります。 本事例では真空中において試料から...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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「重水(D2O)処理」を用いた水素の深さ方向分析
厚み1um以下の薄膜における水(H2O)の浸透性を、膜中の重水素(D)の分布を測定することで評価した事例をご紹介します。薄膜中にもともと水素(H)が存在する場合、水の影響による水素であるかを区別することが困難です。そこで、重水(D2O)による処理を行い、天然同位...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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SIMS:二次イオン質量分析法
水素やppmレベルの不純物の空間的な分布情報を得るにはイメージングSIMSが有効です。 投影型イメージングSIMS用のRAE(RAE:Resistive Anode Encoder)検出器を用いることで、一般的にイメージング分析に用いられる走査型と比較して大口径かつ深い領域まで分布像を得ることが可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PDMS、アミドなど自然に吸着しやすい有機成分が凝集していることがわかりました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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