半自動等倍露光装置（セミオートマスクアライナー）

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。搬送ユニット搭載の半自…

【主な仕様】 ■マスクサイズ：□3"～□7" ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6",角基板 □2"～4" ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能 ■アライメント動作：オートアライメント⇔マニュアルアライメント切換え可能 ■搬送方法：電動シリンダによる自動搬送 ■平行、ギャップ調整：自...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動両面同時露光装置（セミオートダブルマスクアライナー）

ベルト搬送方式によるウエハ表面、裏面を同時に露光可能な装置です。 f…

サイズ：□5"～□7" ■ウエハサイズ：Φ4"～Φ6" ■カセットステージ：ローダー、アンローダー各2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能 ■装置サイズ：(例)1800×1000×1900(本体) ■搬送方法：ベルト搬送方式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

手動等倍露光装置（マニュアルマスクアライナー）

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。搬送系が無い低価格手動…

【主な仕様】 ■マスクサイズ：□3"～□7" ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6",角基板 □2"～4" ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能 ■アライメント動作：オートアライメント⇔マニュアルアライメント切換え可能 ■搬送方法：ウエハを露光ステージへ手動でセット ■平行、ギャップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2サイズインチ兼用自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）

サイズ切替が容易なウエハ2サイズ兼用オートマスクアライナー。簡単設定、…

主な仕様】 ■マスクサイズ：□3"～□7" ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6", ■カセットステージ：2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能 ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ