半自動両面同時露光装置（セミオートダブルマスクアライナー）エイ・エス・エイ・ピイ

ベルト搬送方式によるウエハ表面、裏面を同時に露光可能な装置です。 fast露光モード、アライメント露光モードを設定可能。

当製品は、半自動両面同時露光装置です。

ウエハキャリアからの取り出し、搬入をベルト方式に行います。
マスクとウエハはコンタクトし、同時に露光を行います。

アライメントなしのfast露光モード、
ウエハとマスクのアライメントを主導で行うアライメント露光モードを
レシピで選択。
ベルト搬送方式の特徴を生かし、fast露光モードは高タクトで処理が可能。

上下マスクの位置合わせ、マスク―ウエハの位置合わせはI.Fを同一とし
操作が煩雑になる事がありません。

また、マスクの交換も簡単に行えます。

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

【特長】
■両面同時露光
■fast露光モード、アライメント露光モード
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■ベルト搬送方式

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

特設サイト

基本情報半自動両面同時露光装置（セミオートダブルマスクアライナー）

【主な仕様】
■マスクサイズ：□5"～□7"
■ウエハサイズ：Φ4"～Φ6"
■カセットステージ：ローダー、アンローダー各2組
■センタリングユニットオリフラ自動位置合わせ機能付き：1組
■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能
■装置サイズ：(例)1800×1000×1900(本体)
■搬送方法：ベルト搬送方式

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