FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

鉱油汚れに特化した洗浄剤［オイルパルγ 機械油用PRO］

PRアルミ腐食を避けながら、鉱油汚れのみをスッキリ洗浄！

金属アルミを腐食させることなく、潤滑油・グリス・機械油・切削油といった“鉱物油”系の汚れを綺麗に落とします。エスポ化学の「オイルパルシリーズ」の中では最高クラスの洗浄力をぜひお試しください。 ＜製品の特長＞ ■潤滑油・グリス・機械油・切削油などの鉱油汚れに対して、極めて優れた洗浄力！を発揮！ ■PRTR制度対象化学物質非該当製品*1 *1:「PRTR制度対象化学物質」とは、人や生態系への有害性(...

メーカー・取り扱い企業： エスポ化学株式会社

全自動研磨機『Cyrex』【日本製】

刮目せよ 「Cyber」と「T-Rex」の融合　各ステージ同時研磨によ…

yrex』は、砥石1ステージ＋研磨、琢磨ステージ、砥石には自動ドレス機構、研削量調整機構を標準装備している全自動研磨機です。 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現します。 各ステージに洗浄槽、乾燥槽を標準装備しているため、前工程の異物を持ち込みません。 様々なカスタマイズに柔軟に対応できます。 【特長】 ○設計の自由度が高いPLC制御を採用 ○各工程にヘッドが搭載で生産性...

メーカー・取り扱い企業： アイエムティー株式会社

全自動研磨機『Cyrex』【日本製】

設計の自由度が高いPLC制御を採用！高いスループットを実現する研磨機

rex』は、砥石1ステージ＋研磨、琢磨4ステージ、砥石には自動ドレス機構、研削量調整機構を標準装備している全自動研磨機です。 各ステージ同時研磨により高いスループットを実現します。 各ステージに洗浄槽、乾燥槽を標準装備しているため、前工程の異物を持ち込みません。 様々なカスタマイズに柔軟に対応できます。 【特長】 ○設計の自由度が高いPLC制御を採用 ○生産性が大幅にアップ ○6...

メーカー・取り扱い企業： アイエムティー株式会社