FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

電動パワーユニット型　高圧洗浄機　SJME-713SA

PRバッテリー駆動で場所を選ばず、用途は多様

『電動パワーユニット型高圧洗浄機』は、電動モーターを搭載した高圧洗浄機です。 電動モーターで駆動をするため使用する場所を選ばず、今までは使用が難しかった場所での使用が可能。 また必要水量に合わせて、任意に回転数を選定できます。 【特長】 ■ゼロエミッション　作業時に排気ガスの発生なし ■作業前の準備が楽　電源確保や配線が不要 ■静音性　エンジン音なく夜間作業にも ■急速充電　90...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シンショー

超高純度ガス用圧力調整器『SRQ-1HL・SRQ-1LL』

高純度ガス(純度99.999～99.99999％)や半導体用ガス・腐食…

なくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは、オールメタルシールを採用しています。 オプションで組立環境(クラス10000orクラス10)や洗浄(禁油禁水のみor純粋洗浄)、電解研磨(ありorなし)などの選択が可能なので、ガス使用用途によりカスタマイズが可能です。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社

半導体用圧力調整器『ER-1HL・ER-1LL』

太陽電池・液晶・LED生産工場や研究している大学・研究機関に！半導体用…

『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。 製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を 満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」 「全数 He リークテスト」を実施しています。 Heリークテストは、SEMI F01の方法で行い、基準を満たしております。 【ER-1HL 仕様（抜粋）】 ■一次測圧力（MPa...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社