プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ　PLAZMARK』

PRプラズマ処理効果の「見える化」を実現！プラズマインジケータ(TM) P…

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

電解研粒研摩

ステンレスの耐食性、非付着性を強化する電解砥粒研磨

研磨が可能な加工改良を行い、低コスト、短期間での加工を可能にしました ○現地施工が可能（大型形状、屋外構造物も可能） ○部分的な加工が可能（タンクの内面、流体通過部など限定して処理が可能） ○洗浄性向上（汚れや異物の付着防止、細菌やアウトガスの残留防止に効果的） ○耐蝕性向上（電解作用により鉄が溶解しクロムの多い耐食性の優れた表面） ○幅広い研磨能力（サンダー掛けが必要な傷の多い表面を鏡...

メーカー・取り扱い企業： サーフ工業株式会社