FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ウォータージェット 『ET サーフェイス(平面タイプ)』

回転連動トリガースイッチ搭載！壁面処理用のウォータージェットアタッチメ…

『ET サーフェイス』は、均一に洗浄処理が可能な、 壁面処理用ウォータージェットアタッチメントです。 平面タイプは、壁面・平面処理用。 コーナータイプ(ET サーフェイスCR)は、壁面コーナー(角)処理用です。 エアモータにより先端ノズルを回転させる事によって、均一に洗浄処理。 吸引装置を接続することで、処理水および除去物を同時に回収可能です。 【特長】 ■回転連動トリガ...

メーカー・取り扱い企業： 日進機工株式会社